日本橋川制作所在岡山大學(xué)工學(xué)部等單位協(xié)作下，研制了激光加工與電火花加工兼用的精密微孔加工系統(tǒng)。它是將兩種加工機(jī)構(gòu)組合在一臺(tái)機(jī)床上，不僅有效用于微細(xì)深孔的加工，還有望用于實(shí)現(xiàn)以往難加工的無(wú)繩電話的小型模具。該系統(tǒng)是由特殊的電火花加工裝置、YAG激光加工實(shí)驗(yàn)裝置、表面粗糙度測(cè)量裝置、高速攝像機(jī)系統(tǒng)以及數(shù)字顯微鏡構(gòu)成。首先利用YAG激光在加工對(duì)象上加工出預(yù)孔并清除滯留在預(yù)孔內(nèi)的切屑，然后，對(duì)預(yù)孔進(jìn)行精密加工。利用內(nèi)孔粗糙度測(cè)量?jī)x測(cè)量預(yù)孔或微孔的加工精度。
YAG激光加工能實(shí)現(xiàn)高速加工，但其加工精度有些問題。電火花加工的精度雖好，但加工速度較慢。上述精密微孔加工系統(tǒng)，不僅互補(bǔ)了兩者的缺點(diǎn)，還發(fā)揮出了各自的優(yōu)點(diǎn)。
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