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2003年，國(guó)家教育部、科技部批準(zhǔn)清華大學(xué)、北京大學(xué)、復(fù)旦大學(xué)、浙江大學(xué)、西安電子科技大學(xué)、上海交通大學(xué)、東南大學(xué)、華中科技大學(xué) 、電子科技大學(xué)9所高校為首批國(guó)家集成電路人才培養(yǎng)基地的建設(shè)單位，其中清華大學(xué)、北京大學(xué)、復(fù)旦大學(xué)、浙江大學(xué)、西安電子科技大學(xué)由科技部撥付專(zhuān)項(xiàng)經(jīng)費(fèi)，其余高校經(jīng)費(fèi)自行籌措。

2004年8月，教育部又批準(zhǔn)北京航空航天大學(xué)、西安交通大學(xué)、哈爾濱工業(yè)大學(xué)、同濟(jì)大學(xué)、華南理工大學(xué)和西北工業(yè)大學(xué)六所高校為國(guó)家集成電路人才培養(yǎng)基地的建設(shè)單位；2009年6月教育部再次批準(zhǔn)了北京工業(yè)大學(xué)、大連理工大學(xué)、天津大學(xué)、中山大學(xué)、福州大學(xué)等五所高校為三批國(guó)家集成電路人才培養(yǎng)基地的建設(shè)單位，國(guó)家集成電路人才培養(yǎng)基地的布局已初步完成。

2015年，北京大學(xué)、清華大學(xué)、中國(guó)科學(xué)院大學(xué)、復(fù)旦大學(xué)、上海交通大學(xué)、東南大學(xué)、浙江大學(xué)、電子科技大學(xué)、西安電子科技大學(xué)9所高校被列入支持建設(shè)示范性微電子學(xué)院的高校名單；北京航空航天大學(xué)、北京理工大學(xué)、北京工業(yè)大學(xué)、天津大學(xué)、大連理工大學(xué)、同濟(jì)大學(xué)、南京大學(xué)、中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)、合肥工業(yè)大學(xué)、福州大學(xué)、山東大學(xué)、華中科技大學(xué)、國(guó)防科學(xué)技術(shù)大學(xué)、中山大學(xué)、華南理工大學(xué)、西安交通大學(xué)、西北工業(yè)大學(xué)17所高校被列入籌備建設(shè)示范性微電子學(xué)院的高校名單。