產(chǎn)品名稱：ATOVAC真空計（增強對流計）EG301
產(chǎn)品型號：EG301
產(chǎn)品介紹
通常安裝在真空室內(nèi)，它是一個讀取真空室內(nèi)實際壓力的儀表，需要+24 VDC（可能為15 VDC）電源。EG301增強型對流壓力計具有3~10 VDC信號輸出，用于半導(dǎo)體工藝和真空設(shè)備。
性能特點
l 可以進行大范圍的壓力測量（2.0 X 10-4至760 Torr）。
l 高精度和增加的占地面積效率。
l 提供模擬輸出，以便直接連接到PLC和其他設(shè)備進行顯示。
l 由于采用了7段LED，因此可以遠距離讀取。
l PC可以使用RS-485進行控制。
l 提供兩個設(shè)置點用于外部設(shè)備和過程。
l 它可以以低成本維修（更換傳感器導(dǎo)線）。
l 可單獨使用，無需控制器。
技術(shù)參數(shù)
輸入功率：+24伏直流電（可能15伏直流電)
輸出功率：+3 VDC至10 VDC
工作溫度：0~50℃
壓力范圍：2.0 X 10-4~760Torr
顯示窗口：7段LED
顯示單元：托爾（Torr）
安裝位置：水平
細絲：鉑99.999%
法蘭：NW16 ISO-KF、NW25 ISO-KF，1/4 VCR內(nèi)螺紋，CF法蘭
界面：模擬輸出，RS-485，2個設(shè)定點
