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產(chǎn)品簡介：

    FS4001系列小流量氣體質(zhì)量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設計的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔氣體。獨特的封裝技術使之可用于各類管徑，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器。

產(chǎn)品特點：

  - 傳感器靈敏度高,有極小的始動流量
  - 傳感器芯片采用熱質(zhì)量流量計量,無需溫度壓力補償,保證了傳
  - 感器的高精度計量
  - 在單個芯片上實現(xiàn)了多傳感器集成,使傳感器的量程比大大提高
  - 傳感器的零點穩(wěn)定度高
  - 全量程高穩(wěn)定性
  - 全量程高精確度和優(yōu)良的重復性
  - 低功耗
  - 低壓損
  - 響應時間快

主要參數(shù)：