產(chǎn)品概述:
FS4000是紹隆自動化設備有限公司采用世界領先的微機電系統(tǒng)(MEMS)流量傳感器技術和智能電子控制技術,專為普通氣體流量監(jiān)測開發(fā)的產(chǎn)品。該傳感器能直接測量氣體質量流量,低壓損。適用于凈化空氣或氮氣流量監(jiān)控,還可用于環(huán)境采樣器(如色譜分析儀器等)
FS4003流量傳感器,管道內徑為3mm,成本低測量范圍最大到5SLPM;適用于粒子計數(shù)器和各類分析儀器。
FS4008流量傳感器,管道內徑為8mm,測量范圍最大到50SLPM;可用于麻醉設備、潔凈氣體檢測,如:空氣采樣機,氣體分析儀等
產(chǎn)品特點:
- 專為管徑3mm和8mm的氣管中的低壓氣體流量測量而設計
- 支持多種連接方式,易于安裝與使用
- 傳感芯片采用熱質量流量計量,無需溫度壓力補償,保證了傳感器的高精度計量
- 在單個芯片上實現(xiàn)了多傳感器集成,使其量程比達到了100:1甚至更高
- 輸出方式靈活,既可通過通訊接口主動上傳數(shù)據(jù)或由上位機查詢輸出數(shù)據(jù),也可通過模擬接口輸出線性的模擬電壓
- 零點穩(wěn)定度高
- 全量程高穩(wěn)定性、高精確度和優(yōu)良的重復性
- 低功耗、低壓損
- 響應速度快
機械尺寸:
產(chǎn)品特點:
性能參數(shù) |
FS4003 |
FS4008 |
單位 |
通 徑 |
3 |
8 |
mm |
最大流量 |
2, 3, 4, 5 |
10, 20, 30, 40, 50 |
SLPM |
量程比 |
≥100:1 |
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精 度 |
±(1.5+0.2FS) |
% |
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重復性 |
0.25 |
% |
|
零點輸出飄移 |
±30 |
mV |
|
輸出飄移 |
±0.12 |
%/℃ |
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響應時間 |
10(默認,50,100,200,500,1000可設置) |
msec |
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工作電源 |
8~18Vdc,50mA |
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輸出方式 |
線性,RS232/RS485,模擬電壓0.5~4.5Vdc |
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最大流量壓損 |
100 |
600 |
Pa |
最大工作壓力 |
0.5 |
MPa |
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工作溫度 |
-10 ~ + 55 |
℃ |
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存儲溫度 |
-20 ~ + 65 |
℃ |
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工作濕度 |
<95%RH(無結冰、無凝露) |
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機械接口 |
BSPT1/4(R1/4),4mm/6mm/8mm快速接頭 |
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校準方式 |
空氣(或其他氣體),20℃,101.325kPa |
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重量 |
57(帶R1/4,BSPT1/4接口) |
g |