中高溫壓力傳感器
CYG161、CYG163
普通的壓阻式壓力傳感器電橋中的四電阻是用集成電路工藝制造的，電阻間以PN結(jié)自隔離。由于
此結(jié)構(gòu)受耐溫限制，在使用溫度達到﹢100～﹢120℃時，性能已大大劣化，不適應(yīng)更高溫度下的工
況和許多特殊應(yīng)用環(huán)境。利用陶瓷厚膜敏感元件和多晶硅敏感元件或藍寶石制造的CYG161、CYG163
型傳感器，就是針對較高溫度范圍開發(fā)出來的。它適應(yīng)介質(zhì)溫區(qū)寬，因此拓寬了傳感器的應(yīng)用領(lǐng)域
。
一.主要技術(shù)指標(biāo)
型 號
CYG161
CYG163
量 程
0—4KPa…100Mpa全程可選
零位輸出
≤±5mV
滿量程輸出
30mV±50﹪
80mV±50﹪
過載能力
150﹪
供電電源
恒壓源供電3—12V，通常為10V
恒流源供電0.5—5mA或恒壓源供電﹢15V
補償溫區(qū)
﹣10℃—﹢90℃
﹣20℃—﹢150℃
工作溫區(qū)
﹣40℃—﹢125℃
﹣55℃—﹢200℃
適用介質(zhì)
航空航天、能源運輸、石油堪采、化工、熱工自動化等特殊應(yīng)用環(huán)境和高溫工況
二.分檔性能參數(shù)
指標(biāo)
檔級
零點時漂
mv8小時
零點溫度系數(shù)
×10﹣4 / ℃·FS
靈敏度溫度系數(shù)
×10﹣4 / ℃·FS
非線性
±﹪FS
不重復(fù)性，遲滯
﹪FS
A
0.2
5
5
0.5
0.3
B
0.1
3
3
0.3
0.2
C
0.1
2
2
0.2
0.15
D
高精度要求特定
三.標(biāo)準外形、壓力接口及殼體材料
以下為帶散熱結(jié)構(gòu)的高溫傳感器標(biāo)準外型圖。其壓力接口可以選擇M12×1和M20×1.5選擇，亦
可特定外型及接口，殼體材料為1Cr18Ni9Ti。
