YUTAKA高純度半導(dǎo)體壓力調(diào)節(jié)器
L20 系列 RoHS 指令兼容產(chǎn)品
高壓力流率標(biāo)準(zhǔn)
SUS316L，SUS + 哈氏 ? 60 NL/min14.8 MPa0.99 MPa
高純度半導(dǎo)體制造工藝精密壓力調(diào)節(jié)器
L25 系列 RoHS 指令兼容產(chǎn)品
低氣壓標(biāo)準(zhǔn)流率類(lèi)型
SUS316L，SUS + 哈氏 ? 20 NL/ min6 MPa0.99 MPa
高純度半導(dǎo)體制造工藝的精密壓力調(diào)整儀器打開(kāi)
L21 系列 RoHS 指令兼容產(chǎn)品
高壓力流率標(biāo)準(zhǔn)
SUS316L，SUS + 哈氏 ? 20 NL/min14.8 MPa0.99 MPa
高純度半導(dǎo)體制造工藝精密壓力調(diào)節(jié)器
L26 系列
低氣壓標(biāo)準(zhǔn)流率類(lèi)型
SUS316L，SUS + 哈氏 ? 20 6 MPa0.99 m p a，NL/min0.99 MPa 2 MPa
高純度半導(dǎo)體制造工藝精密壓力調(diào)節(jié)器
L35 系列 RoHS 指令兼容產(chǎn)品
在低氣壓放電類(lèi)型
SUS316L，SUS + 哈氏 ? 100 NL/ min6 MPa0.9 MPa
高純度半導(dǎo)體制造工藝精密壓力調(diào)節(jié)器
L61 系列
高壓高流量類(lèi)型
SUS316L，SUS + 哈氏 ? 300 NL/min14.8 MPa0.8 MPa
高純度半導(dǎo)體制造工藝精密壓力調(diào)節(jié)器
L62系列
針型高壓高流量類(lèi)型
SUS316L，SUS + 哈氏 ? 300 NL/min14.8 MPa0.8 MPa
高純度半導(dǎo)體制造工藝精密壓力調(diào)節(jié)器
L81 系列 RoHS 指令兼容產(chǎn)品
兩級(jí)標(biāo)準(zhǔn)流率類(lèi)型
SUS316L，SUS + 哈氏 ? 25 NL/min14.8 MPa0.6 MPa
高純度半導(dǎo)體制造工藝精密壓力調(diào)節(jié)器
L88 系列
兩級(jí)標(biāo)準(zhǔn)流率類(lèi)型
SUS316L25 NL/min14.8 MPa0.99 MPa
高純度半導(dǎo)體制造工藝精密壓力調(diào)節(jié)器
L96 系列
絕對(duì)壓力類(lèi)型
SUS316L，SUS + 哈氏 ? 5 NL/min0.99 m p a-0.1 ~ 0 ~ 0.2 m p a
高純度半導(dǎo)體制造工藝精密壓力調(diào)節(jié)器
LH1 系列
低氣壓高流量類(lèi)型
SUS316L，SUS + 哈氏 ? 500 NL/細(xì)胞 min6 MPa0.8 MPa
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高純度半導(dǎo)體制造工藝精密壓力調(diào)節(jié)器
LH2 系列
低氣壓高流量類(lèi)型
SUS316L，SUS + 哈氏 ? 500 NL/ min6 MPa0.8 MPa
高純度半導(dǎo)體制造工藝精密壓力調(diào)節(jié)器
LM1 系列 RoHS 指令兼容產(chǎn)品
低氣壓高流量類(lèi)型
SUS316L700 NL/min2 MPa0.8 MPa
高純度半導(dǎo)體制造工藝的精密壓力調(diào)整儀器打開(kāi)
LM2 系列 RoHS 指令兼容產(chǎn)品
針型低氣壓高流量類(lèi)型
SUS316L700 NL/min2 MPa0.8 MPa
高純度半導(dǎo)體制造工藝精密壓力調(diào)節(jié)器
LL1 系列
低氣壓高流量類(lèi)型
SUS316L1000 NL/min2 MPa0.8 MPa
高純度半導(dǎo)體制造工藝精密壓力調(diào)節(jié)器
LL2 系列 RoHS 指令兼容產(chǎn)品
低氣壓高流量類(lèi)型
SUS316L1500 NL/min2 MPa0.8 MPa
高純度半導(dǎo)體制造工藝精密壓力調(diào)節(jié)器
L18系列 RoHS 指令兼容產(chǎn)品
小標(biāo)準(zhǔn)流量率類(lèi)型
SUS316L，SUS + 哈氏 ? 20 NL/min0.99 MPa0.6 MPa
高純度半導(dǎo)體制造工藝精密壓力調(diào)節(jié)器
L18H 系列 RoHS 指令兼容產(chǎn)品
在小流量率類(lèi)型
SUS316L，SUS + 哈氏 ? 30 NL/min0.99 MPa0.7 MPa
高純度半導(dǎo)體制造工藝 w/o 型精密壓力調(diào)節(jié)器
LS2 系列
低氣壓標(biāo)準(zhǔn)流率類(lèi)型
SUS316L，SUS + 哈氏 ? 20 NL/min2 MPa0.6 MPa
