羅克韋爾自動(dòng)化的操控體系使得半導(dǎo)體的制造發(fā)生了革命性的改動(dòng)——使得晶片加工吞吐量增加了25%，使得晶片成長(zhǎng)時(shí)刻從一年多縮短到六個(gè)星期，減縮了85%，使得全部體系愈加靈活、愈加牢靠。
布景材料
在半導(dǎo)體職業(yè)，自動(dòng)化體系被用于硅晶片到芯片的加工處理。在這個(gè)進(jìn)程中，為了蝕刻硅晶片外表，會(huì)用到迅速熱處理、迅速熱退火和迅速熱化學(xué)蒸汽蒸鍍（RTCVD）。
被稱(chēng)為晶簇東西的全部體系，包含多個(gè)進(jìn)程，構(gòu)成了具有三個(gè)進(jìn)程模塊和一個(gè)冷卻腔的自動(dòng)化港。進(jìn)程模塊包含了領(lǐng)先的半導(dǎo)體晶片加工所需求的各種自動(dòng)化設(shè)備。
習(xí)慣上，半導(dǎo)體職業(yè)的OEM運(yùn)用他們自個(gè)所具有的硬件和軟件構(gòu)件體系，運(yùn)用C++或別的代碼程序進(jìn)行操控。晶簇東西的開(kāi)發(fā)商發(fā)現(xiàn)，選用雜亂的編程語(yǔ)言作業(yè)增加了開(kāi)發(fā)時(shí)刻和訓(xùn)練需求，而計(jì)算機(jī)也常常潰散且難以調(diào)整。此外，半導(dǎo)體職業(yè)需求一種規(guī)范托言，在體系開(kāi)發(fā)中運(yùn)用多個(gè)RS232通信口。這些雜亂的需求使得迅速而便利地開(kāi)發(fā)體系面臨著必定的應(yīng)戰(zhàn)。
問(wèn)題的提出
半導(dǎo)體晶簇東西的一個(gè)特別開(kāi)發(fā)商——也是IBM、Inb、摩托羅拉（Motorola）、東芝（Toshiba）等公司的供應(yīng)商——覺(jué)得，操控晶片加工體系的傳統(tǒng)辦法有著很大的改善空間，從而引發(fā)了逾越傳統(tǒng)的半導(dǎo)體技術(shù)的新技術(shù)的研討。
公司需求這樣一個(gè)解決方案，它可以對(duì)生產(chǎn)進(jìn)程進(jìn)行管理操控，可以對(duì)每個(gè)不一樣模塊的特別功用進(jìn)行操控，而且，每塊模塊都可以進(jìn)行三軸運(yùn)動(dòng)操控。除此之外，它需求一個(gè)組態(tài)便利、牢靠的接口，以便操作人員輸入和反應(yīng)數(shù)據(jù)。
為了不糟蹋高本錢(qián)的凈化空間，全部體系有必要緊湊、易于裝置和組態(tài)。從開(kāi)始的加工體系的開(kāi)發(fā)，到全部體系的構(gòu)件，絕大部分晶片加工公司需求12至14個(gè)月——這部分時(shí)刻有必要減縮。
解決方案
依據(jù)一個(gè)管理人員曾經(jīng)的經(jīng)驗(yàn)，公司找到了羅克韋爾自動(dòng)化，探討了羅克韋爾自動(dòng)化的自動(dòng)化和操控技術(shù)用于半導(dǎo)體職業(yè)的可行性。羅克韋爾自動(dòng)化供給了最新的產(chǎn)品，公司也意識(shí)到，Allen-Bradley的可編程序操控器可以供給開(kāi)發(fā)和運(yùn)行操控體系所需求的速度、靈活性、牢靠性，且運(yùn)用便利。
未列舉的型號(hào)并不代表沒(méi)有，具體還是詢(xún)問(wèn)為主。
Power-One 電源模塊 MAP40-1005C
Kuka 馬達(dá)電機(jī) KK53Y-YYYY-071
National Instruments 采集卡 PCI-MXI2
Schunk Schunk 夾具 夾具 OSE-A34-4 PGN100/2
POWER ONE 電源模塊 LWN2660-6
KEYENCE 通訊電線 OP-24027
HP WORKSTATION 工作站 B2600
Parker 接頭 SH4-62+SH4-63
honeywel 板卡 80363972-150
Epson 板卡 skp326-3
YOKOGAWA 模塊 F3XP01-OH
PITTMAN 馬達(dá)電機(jī) GM9236S020-R1
Siemens 接觸器 CXN0550CL CXN0550CL （動(dòng)，靜各三個(gè)）
CABLETRON 以太網(wǎng)收發(fā)器 ST-500
施耐德 模塊 140CPU11302 AM-SA85-000
CUTLER-HAMMER 保險(xiǎn)絲 25CLPT-.5E
AB 電機(jī) MPL-B230P-VJ44AA
FANUC 教導(dǎo)器 A05B-2518-C200#EMH
施耐德 模塊 140DDO35300
AB 電池 1756-BA1 1756-BA2
施耐德 板卡 416NHM30032A
VEXTA 驅(qū)動(dòng)器 UDX5103
KUKA 電機(jī) KK67Y-YYYY-050
施耐德 模塊 NW-RR85-001
TRICONEX 模塊 3625
AB 模塊 1746-P3
三菱 變頻器 FR-E520S-0.4K-CH
AB 觸摸屏 2711-T10C10
MATROX 板卡 y751-0301
AB 控制器 控制器 控制器 2094-BM01-S 2094-BC04-M03-S 2094-PRS6
FOXBORO 控制器 CP40B
三菱 本多 編碼器電纜 連接器 "MR-JCCBL30M-L PCR-S20FS 連接器
PCR-LS20LA1罩"
三菱 馬達(dá) HC-MF053G2
KUKA 網(wǎng)絡(luò)主從卡 00-104-196
施耐德 控制器 140DDI35300 140aci03000 140crp93200 140cps11420
Rorze 驅(qū)動(dòng)模塊 RD-023MS
施耐德 模塊 NW-RR85-001
AB 電池 1747-BA
VEEDER-ROOT 計(jì)數(shù)器 C628-81002
松下 馬達(dá) MQMZ012P1G
Phoenix 模塊 IBS 24 BK-I/0-T
HONEYWELL 通訊板 measurex 05357600
coolmuscle 馬達(dá) KH56QM2B048
AB CPU 處理器 1756-L61
IVO 轉(zhuǎn)速表 TA200.002AXA1
Allen Bradley 繼電器 MSR6R/T
AB 模塊 1746-INT4
interface 采集卡 PCI-2726CM
FOXBORO 電源模塊 P0904HA
FANUC 驅(qū)動(dòng)器 A06B-6093-H152
FANUC 輸出模塊 A03B-0819-C154
FANUC 驅(qū)動(dòng)器 A02B-0168-B012
ABB 通訊模塊 RMBA-01
PARKER 控制器 ACR8010
FOXBORO 電源模塊 IPM2-P0904HA
YASKAWA 驅(qū)動(dòng)器 SGDS-02F12A
施耐德 模塊 140DDI35310 990XCP98000
Kollmorgen 驅(qū)動(dòng)器 CB06551
EUPEC IGBT模塊 FS225R12KE3
MITSUBISHI 控制器 FX2N-64MT
三菱 電源模塊 Q61P
AB 模塊 1756-OB32 /A
AB 模塊 1794-IB16 1794-TB3
西門(mén)子 模塊 四個(gè)型號(hào)
RORZE 驅(qū)動(dòng)器 RD-023MS
AB 電池 1756-BA1
SIEMENS 繼電器 3UF7010-1AU00-0
AB 模塊 1747-L542 1747-ASB 1747-SN
GE 斷路器 SFHA36AT0250
RORZE 驅(qū)動(dòng)器 RD-023MS
FANUC 伺服電機(jī) A06B-0143-B175
ONA 手操器 CT8142380
臺(tái)達(dá) 驅(qū)動(dòng)器 ASD-A0721LA
西門(mén)子 觸摸屏 6AV6 642-OBA01-1AX1
Rexroth 驅(qū)動(dòng)器 DKCXX.3-100-7
西門(mén)子 觸摸屏 6AV6 545-OCC10-OAXO
AB 模塊 1769-pa4
安川 驅(qū)動(dòng)器 SGDS-04A12A
Kollmorgen 驅(qū)動(dòng)器 CB06551
安川 變頻器 CIMR-F7A4015
AB 模塊 1746-OW16 1746-IA16
RORZE 驅(qū)動(dòng)器 RD-023MS
interface 采購(gòu)卡 PCI-2726CM
siemens 模塊 6SN1118-0DH23-0AA1
松下 西門(mén)子 攝像機(jī) 電源模塊 ANM832CE 6ES7307-1EA00-0AA0
honda 連接器 PCR-S20FS
siemens 觸摸屏 6AV3-607-1JC20-0AX1
siemens 模塊 6SN1118-0AE11-0AA1
TORRINGTON 軸承 NB4012
AB 變頻器 2711-K9C1X
Gidel 板卡 Gidel PROC_DSP PROC DSP REV 02
FANUC 伺服器 A02B-0166-B531
AB 配件 1784-PCMK 1784-PCM5
AB 控制器 1746-HSCE
AB 控制器 1746-NO4V 1746-NO8V
FANUC 風(fēng)扇 A90L-0001-0548
AB 控制器 1746-HSCE
HP HP 硬盤(pán) 板卡 652564-b21 411508-b21
AB 模塊 1756-IV32
GE 模塊 IC693PWR330
安川 變頻器 CIMR-XCBA20P4
FOXBORO 模塊 FBM205
西門(mén)子 控制器 6ED1 053-1FB00-0BA2
AUMA 模塊 Z013.718 C/01.05 Z009.636 A/02-06
施耐德 電源模塊 140CPS11420
施耐德 通訊模塊 PTQ-PDPMV1
施耐德 電源模塊 140CPS21400
施耐德 通訊模塊 140ERT85410
西門(mén)子 高壓板 PS-M06D12S5-NJ1L(S)
AB 機(jī)架 1746-A7
松下 驅(qū)動(dòng)器 MSDC015A3A06
TIMKEN 軸承 JLM714149/JLM714110
datalogic 掃描槍 PSC959
AB 觸摸屏 2711-K6C10
施耐德 控制器 控制器 140DDO35300 140DDI35300
AB 伺服控制模塊 2094-BM01-S
施耐德 PLC 底板 140XBP01000
雄克 氣缸 PGN100-1
AB 模塊 1746-0W16 1746-IB16
AB 網(wǎng)絡(luò)適配器 1203-CN1
MicroE 編碼器 MicroE M10
AB 模塊 模塊 1756-A7 1756-ENBT
AB 模塊 1769-OB16 1769-OF2 1746-HSCE
Invensys 控制模塊 GCM-86120
Sprecher + Schuh 接觸器 CA3-12
p+f 安全柵 KFA6-DWB-EX1.D
AB 通訊卡 1784-PCC
雄克 氣缸 PGN100-1 370102
TECO 變頻器 FM50-2P5-OC
Siemens 信號(hào)線 00300379-04
三菱 模塊 FR-E5NC
施耐德 模塊 140XTS00200 NW-RR85-001 990NAD23000
LIEBERT 模塊 4C13121G-4
p+f 模塊 WCS-PG210E
LIEBERT 模塊 4C13121G-4
COAX 壓力控制閥 3-HPB-H 32
Cutler-Hammer 開(kāi)關(guān) 10250T/91000T
Lumberg 電纜 E54661 LL54185
HP 模塊 E7024A E6978-68542
AB 模塊 1756-PA75
歐姆龍 開(kāi)關(guān) WLCA2-TH
山武 定位器 AVP301-RSD4A
Opto 模塊 SNAP-AIVRMS-I SNAP-AIV-I SNAP-AOV-27 SNAP-AOV-25
TASCAM 刻錄機(jī) DV-RA1000HD
RORZE 控制器 RD-023MS
RORZE 控制器 RD-023MS
RORZE 控制器 RD-023MS
AB 機(jī)架 1756-A13
HP 模塊 E8001-66442
FANUC EBRO 放大器 定位器 A06B-6130-H002 MSK04, 編號(hào):4528279
Love 變速器 ISO VRETER II MODEL 4380
Cutler-Hammer 開(kāi)關(guān) 10250T/91000T
AB 模塊 1769-L32E
施耐德 模塊 140ACI03000
AB 模塊 1747-L552 1746-NI16I 1746-NO4I
RORZE 控制器 RD-122
AB 模塊 1762-L24AWA 1762-IF2OF2 1762-IT4
三菱 變頻器 FR-A540-11K-CH
AB 模塊 1747-L552
AB 模塊 1746-NO4V
AB 模塊 1769-L32E
P+F 開(kāi)關(guān) NBB5-18GM40-Z0-V1 NCB4-12GM40-Z4-V1
P+F 模塊 NCB4-12GM40-Z4-V1
Schneider 模塊 140CPU11303 140CPU43412 140CPS11420 140DDI35300 140DDI35310
FOXBORO 卡件 FBM204
P+F 開(kāi)關(guān) NCB50-FP-A2-P1
三菱 控制器 FX2N-64MT
Panasonic 電機(jī) MSMA011A1E
siemens 模塊 四個(gè)型號(hào)
Panasonic 電機(jī) MSMA011A1E
WOODWARD 控制器 8406-113
AB 軟啟 150F-361NBD
西門(mén)子 控制器 6FC5210-0DA20-2AA1
三菱 控制器 FX2N-64MT
安川 電機(jī) SGML-01AF12
AB 變頻器 160S-AA02NSF1
FOXBORO 電源模塊 P0904HA
GE 輸入模塊 IC693ALG223
interface 板卡 PCI-2726CM
安川 伺服驅(qū)動(dòng)器 "
SGDC-30AJA"
費(fèi)斯托 增壓器 DPA-63-10
SEW 伺服驅(qū)動(dòng)器 MAS51A060-503-00 MAS51A010-503-50
三菱 控制器 FX2N-64MT
Bluecherry 視頻采集卡 PV-143
西門(mén)子 控制器 6SN1118-0DH23-0AA1
Modicon 模塊 AS-BDAP-208
歐姆龍 接近開(kāi)關(guān) E2E-X10Y1
RORZE 控制器 RD-023MS
GE 模塊 IC693PWR330
siemens 模塊 6ES7331-7PF11-0AB0
AB 模塊 1771-P7 1771-VHSC 1771-OWNA 1771-OFE1 1771-IFE 1771-DL 1771-ASB 1771-IAN
HP 模塊 85093C
西門(mén)子 變頻器 6SY7010-0AB51 6SY7010-0AB52
Cutler-Hammer 接觸器 C825KN10
SEW 伺服驅(qū)動(dòng)器 MAS51A060-503-00
HP 連接線 8120-8862
AB 模塊 1746-IA16
西門(mén)子 配件 西門(mén)子5項(xiàng)
RORZE 控制器 RD-023MS
三菱 控制器 FX2N-64MT
NI 模塊 PCI-MIO-16E
安川 模塊 JUSP-OP03A
西門(mén)子 觸摸屏 6AV3607-1JC20-0AX1
西門(mén)子 控制器 6SN1118-0AE11-0AA0 6SN1118-0DH23-0AA1
西門(mén)子 控制器 6SN1118-0DH23-0AA1
AB PHOENIX SIEMENS 控制器 1756-PA72 QUINT-PS/3AC/24DC/20 6ES7322-1BL00-0AA0
西門(mén)子 控制器 6FC5210-0DA20-2AA1
interface 板卡 PCI-2726CM
GE 通用 模塊 IC693ALG442B
Aera 流量計(jì) FC-771AC
AB 機(jī)架 1756-A7
IOTECH 轉(zhuǎn)換器 488/80A
omron 觸摸屏 NT30C-ST141B-V1
施耐德 控制器 140CRA93200
施耐德 西門(mén)子 控制器 140ACI03000 140ARI03010 6ES7314-6CG03-0AB0
安川 電機(jī) USAHEM-03CB2X
穆?tīng)?穆?tīng)?HRC3/047-500
MOORE 繼電器 RELAY 62V
施耐德 模塊 140DDI35300 140DDO35300
松下 電機(jī) MUDS043A1A
施耐德 模塊 140ACI03000
SCHUNK 氣缸 0SE-C40-0
EG&G 燈泡 FYD
SYMAX 模塊 8005 RT-108
GE 轉(zhuǎn)換器 S731DVT-EST2 S731DVT-EST1
AB PLC 1746-OB16 1746-N2
AB 觸摸屏 2711-T10C3
GE 轉(zhuǎn)換器 S731DVT-RST2
松下 驅(qū)動(dòng)器 DV88020LFGBC
maxon 電機(jī) 137526
Baumer 傳感器 IFRM 05P1501/S35L RLV74VBHP/S81
EG & G PERKINELMER 燈泡 觸發(fā)器 FYD PS358-1
菲尼克斯 模塊 IBS S5 DCB/i-T
AB 模塊 1756-IF16/A 1769-L32E/A
AB 基座 592-JOV16
Novar 模塊 733030100
UNIT 流量計(jì) UFC-1110 N2 O2 H2 10L UFC-1110 N2 O2 H2 1L下
YASKAWA 控制器 JEPMC-PC055 JEPMC-MC003
CUSTOM 馬達(dá) MPM662H-647L
FOXBORO 調(diào)壓閥 B0123HD
YASKAWA 控制器 JEPMC-MC003
Matrox 采集卡 ORI-PCI/RGB979-0101
GE 轉(zhuǎn)換器 S731DVT-EST2
robertshaw 溫控 5000-43D
westinghouse 斷路器 qc2050
GE 轉(zhuǎn)換器 S731DVT-EST1
NDC 模塊 FSA150 FSA23II
Circuit Brake 電路板 KS-9707-CR-1
HILSCHER B&R 板卡 控制器 CIF50-PB 3NW150.60-1
QUALITROL 模塊 48515-1
HP 模塊 E8001-66442
思科 板卡 ASA5580-2X10GE-SR
lenze 驅(qū)動(dòng)板 EVD472-E
GE 模塊 IC693MDL231
三菱 驅(qū)動(dòng)器 MR-SO103P
GE 模塊 IC200UEX636-C
約克離心機(jī) 液晶顯示板 6091L-0040A
AB 機(jī)架 1746-A13
西門(mén)子 高壓條 PS-M06D12S5-NJ1L(S)
MONARCH 電機(jī) M-3519-0148
發(fā)那科 風(fēng)扇 A90L-0001-0548
IDEC 繼電器 IDEC PFJ-T162U
西門(mén)子 模塊 MEC 549-022
AB 模塊 1771-IFE
AB 模塊 1771-OAD
AB 模塊 1771-OMD
AB 模塊 1769-L32E
AB 模塊 1769-L32E
施耐德 模塊 NW-RR85-001
AB 模塊 1746-NI16I
AB 模塊 1785-L40E
施耐德 模塊 NW-RR85-001
施耐德 模塊 140DAI74000
FANUC 內(nèi)存卡 A20B-3900-0160 A20B-8200-0361
AB 模塊 1769-L32E
KEBA 模塊 K2-200
AB 模塊 1756-HSC
AB 模塊 1756-IF6I
普洛菲斯 觸摸屏 GP477R-EG41-24VP
穆勒 電源 SN4-025-B17
AB 模塊 1756-PB72
WITH LANVIEW 模塊 9404004 ST-500
Divider 分配器 CH-130-4
AB 模塊 1746-IM16 1746-IV32 1746-IA16 1746-OA8
AB 模塊 1747-L524
邁創(chuàng) 采集卡 METEOR2-MC/4
AB 模塊 1746-IB16 1746-OW16 1746-NO4V
AB 模塊 1747-L532 1746-IM16
GE 模塊 IC693ALG391 IC754VSI12CTD
AB 模塊 1761-NET-ENI 1761-CBL-PM02
AB 模塊 1746-OB16
GE 模塊 IC693ALG392
AB 模塊 1746-A10 1746-IB32 1746-OB32 1746-P2 1747-L552 1747-SDN 1746-N2
HORIBA 濃度儀 CM-210-AC
施耐德 接近開(kāi)關(guān) XS618B1NAL5
AB 繼電器 MSR6R/T
力士樂(lè) 伺服驅(qū)動(dòng)器 DKC02 3-100-7-FW+FWA-ECORDR3-SMT-02VRS-MS DKC02 3-040-7-FW+FWA-ECORDR3-SMT-02VRS-MS
伊頓 電池 PW3115 650
Microe 光柵尺讀頭 Microe M10
AB 模塊 1746-OW16
GE 模塊 IC693CPU352
AB 模塊 1746-OW16
AB 驅(qū)動(dòng)器 2098-DSD-030-SE
FANUC 模塊 ADA02A A03B-0807-C052
MICRO SWITCH 限位開(kāi)關(guān) L324 IEC60947-5-1
ABB I/O板 NIOC-02C
ABB 模塊 SK616 001-B
AB 交流接觸器 700-P800A1
RORZE 控制器 RD-023MS
AB 模塊 1746-OW16
KUKA 示教器 KCP2 00-130-547
Power-One 電源 MAP40-1005C
Johnson Controls 水閥門(mén) V46AB-1
Cutler Hammer 繼電器 AN16NN0
Cutler-Hammer 觸摸屏 1775K PMPP 1700
AB 模塊 1756-RM
AB 模塊 1769-OB8
pack 驅(qū)動(dòng)器 AK-BX556M
AB 模塊 1769-iq32 1769-pa4 1769-ob32
SIEMENS 模塊 6DR2100-5
EMERSON EMERSON CT變頻器 驅(qū)動(dòng)器 SPMD1403 SP1401
施耐德 模塊 140ERT85410
OKUMA 板卡 E0227-702-008
ABB 控制器 RVT6-1/5A
施耐德 模塊 140DAI74000
AB 觸摸屏 2711-K6C10
SEMIKRON SEMIKRON 模塊 SKKQ 3000/14E SKKQ 3000/18E
omron 觸摸屏 NT30C-ST141B-V1
EMERSON EMERSON CT變頻器 驅(qū)動(dòng)器 SPMD1403 SP1401
AB 模塊 1756-OW16I
OPTO 22 模塊 "SNAP-AOV-25
SNAP-AOV-27
SNAP-AIVRMS-I
SNAP-AIV-I
SNAP-IDC5-FAST-A
SNAP-IDC5
SNAP-ODC5R"
AB 軟啟動(dòng)器 41391-454-01-S1FX
莫托曼 焊槍 TK-308RR
AB 模塊 1756-PA75
AB 模塊 1756-A13
ABB 示教器 DSQC679 3HAC028357-001
ABB 示教器 3HAC031851-001/05 3HAC14265-1
Cutler-Hammer 觸摸屏 5485K-AC PMPP 5000
AB 模塊 1794-IM8 1794-TBN 1769-0A8
施耐德 模塊 140ARI03010
