勻膠烤膠機(jī)，(英文名：Spin Coater)
CB-1B型
廣泛適宜于在教學(xué)實(shí)驗(yàn)中使用。 CB系列勻膠烤膠機(jī)適應(yīng)于半導(dǎo)體,硅片,晶片,基片,導(dǎo)電玻璃等工藝,制版的表面涂覆.勻膠機(jī)穩(wěn)定的轉(zhuǎn)速和快速的啟動(dòng),可以保證半導(dǎo)體中膠厚度的一致性和均勻性的特點(diǎn). 該機(jī)在這方面采取了許多措施:
(1)定子和轉(zhuǎn)子分開供電.定子用穩(wěn)定電源供勵(lì)磁電流,轉(zhuǎn)子用開關(guān)電源調(diào)速,它比可用控硅調(diào)速優(yōu)越得多,轉(zhuǎn)速在300~8500轉(zhuǎn)/分范圍內(nèi)非常穩(wěn)定.
(2)本勻膠機(jī)有兩個(gè)轉(zhuǎn)速.在啟動(dòng)之后,先以低速運(yùn)轉(zhuǎn),使膠攤開,然后自動(dòng)變到高速運(yùn)轉(zhuǎn).兩種轉(zhuǎn)速及相應(yīng)的時(shí)間分別可調(diào).
(3)本勻膠機(jī)測(cè)速采用光電的辦法,在光電測(cè)速盤的邊上有三個(gè)缺口,(反射帶和吸收帶)分布于盤的周圍,盤邊的下面安裝有光電開關(guān),光源照到光電經(jīng)反射到接收器,產(chǎn)生光電脈沖,測(cè)速盤旋轉(zhuǎn)一周,產(chǎn)生三個(gè)脈沖.閘門由秒脈沖電路產(chǎn)生,周期為兩秒.當(dāng)馬達(dá)旋轉(zhuǎn)時(shí),如果計(jì)時(shí)器在2秒內(nèi)計(jì)的得數(shù)是n,則每分鐘應(yīng)該轉(zhuǎn)了n/(2x3)=n/6轉(zhuǎn),每分鐘旋轉(zhuǎn)(n/6)x60=10n轉(zhuǎn).故計(jì)數(shù)器就是每分鐘轉(zhuǎn)速,只不過差一個(gè)數(shù)量級(jí).
(4)"吸片"采用電磁閥控制氣路,這樣適合流水線的工藝,一個(gè)氣泵可同時(shí)帶幾個(gè)勻膠機(jī)工作,提高了效率.
(5)勻膠機(jī)的定時(shí)功能由時(shí)基電路556來完成,把556按單穩(wěn)形式連接,改變RC常數(shù),就可以改變兩個(gè)勻膠時(shí)間.
(6)智能型調(diào)節(jié)勻膠時(shí)間,時(shí)間分別控制在1~360秒 (7)在安裝結(jié)構(gòu)上,采取了減振措施,保證了在運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)噪音很低,保證涂覆表面均 勻,保證通過調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)涂覆厚度.
(8)勻膠機(jī)配真空泵使用.
性能指標(biāo) 性能指標(biāo)：
1, 轉(zhuǎn)速和時(shí)間特點(diǎn)是 調(diào)速范圍：300-8000轉(zhuǎn)/分
勻膠時(shí)間：1-3600秒
2,LED數(shù)字顯示,
轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度：±1% ,膠的均勻性：±3% .
3,電源電壓：220V/ 50Hz
4,電機(jī)功率：90W
5,適用：Φ5-Φ100mm硅片及其它材料等勻膠.
真空泵抽氣速率 ≥60升/分
6,操作簡(jiǎn)便儀器尺寸：210×220×160 mm
7, 轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)形式, 采用變頻電源控制器調(diào)節(jié)
8, 烘膠板規(guī)格, ø200mm
9, 烘烤溫度, ≤200℃ 10,
整體臺(tái)面680×380×260m
