但在放置和傳輸過(guò)程中會(huì)對(duì)玻璃基片表面難以避免地出現(xiàn)不明污染物, 失去 "新鮮表面" 形成鈍化層, 甚至可視痕跡. 對(duì)于低輻射玻璃而言, 在瑕疵處生長(zhǎng)的銀膜會(huì)在后續(xù)鋼化及熱彎過(guò)程中形成團(tuán)聚, 導(dǎo)致透光性能與低輻射性能?chē)?yán)重惡化, 鍍膜產(chǎn)品報(bào)廢,降低成品率.
因此, 國(guó)內(nèi)某玻璃制造商采用伯東 KRI 考夫曼霍爾離子源 eH3000 在玻璃基片傳輸后/ 鍍膜前進(jìn)行在線基片表面處理工序.
KRI 霍爾離子源 Gridless eH3000 技術(shù)參數(shù):
離子源型號(hào)
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Cathode/Neutralizer |
HC |
電壓 |
50-250V |
電流 |
20A |
散射角度 |
>45 |
可充氣體 |
Ar, O2, N2, H2, organic precursors, others |
氣體流量 |
5-100sccm |
高度 |
6.0“ |
直徑 |
9.7“ |
水冷 |
可選 |
F = Filament; HC = Hollow Cathode; xO2 = Optimized for O2 current
該制造商采用 KRI 霍爾離子源 Gridless eH3000離子源解離 Ar 氣體,轟擊玻璃表面,對(duì)玻璃基片表面進(jìn)行清洗和刻蝕.
推薦理由:
設(shè)備穩(wěn)定,抗污染能力強(qiáng),可以進(jìn)行基片表面清洗與輔助沉積, KRI 霍爾離子源 Gridless eH3000 對(duì)玻璃基片表面有效去除二次污染/ 增加基片表面能/ 控制基片表面粗糙度.
運(yùn)行結(jié)果:
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上海伯東: 羅先生 臺(tái)灣伯東: 王女士
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