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明電舍(MEIDENSHA)真空電容器 明電舍MEIDEN可變真空電容器 明電舍MEIDEN固定真空電容器
   
明電舍通過40年對真空斷路器的開發(fā)制造，積蓄了該領(lǐng)域的豐富技術(shù)經(jīng)驗，成功開發(fā)制造出高性能,高信賴的真空電容器。真空機器的制造，通常有兩種方式1）由真空泵不停排氣方式,2)制造中的真空封閉方式。本公司的真空電容器，采用了真空封閉方式進行制造，并且采用了長時間保持真空狀態(tài)的構(gòu)造。其產(chǎn)品用于：液晶屏面板制造裝置領(lǐng)域，太陽能電池板制造領(lǐng)域，醫(yī)療?測量機器領(lǐng)域，半導(dǎo)體制造裝置領(lǐng)域，廣播電視播放領(lǐng)域，科學(xué)研究領(lǐng)域等官方應(yīng)用于阻抗箱，匹配箱 阻抗匹配RF系統(tǒng) matching box上使用

真空電容器MEIVAC的特征是
高耐電壓 真空的耐電壓高，易于實現(xiàn)小型化；
低損失 可以適用于高RF頻率；
大電流通電 無整流子結(jié)構(gòu)形式，適合大電流；
高信賴性 具有自我恢復(fù)性，可以承受瞬間過電壓；
SCF-153.5H52WR
SCV-514M  5KV-1400PF
SCV-152.5
SCV-151
SCV-204
SVC-514M
SCV-520M 
SCV-205G
SCV-155M
SCF-200.5C
SCF-53Z
SCF-201C
SCF-152Z
BDS5-3040
SCF-151Z
SCV-7.55
SCF-151.5Z
SCV-520M
SCF-55Z
SCV-514M
KIU-KR DC110V 14VA
NTG-81 0.2-1.0A 220V 50HZ
KI0-LGR 3A DC110V 0.5-2.0A
KI0-C6R DC110V 5A 50HZ 18VA
NTG-91 0.1-1.0A 220V 50HZ
SCV-152.5 
SCV-250.8D
SCV-202D
SCV-104G
SCV-510M
SCV-1014G
SCV-151H55UW
SCV415H65UW
SCV-55FH55UW
SCV-85H55UW-NP
SCV-515G
SCV-152.5GT
SCV-152.5H55UW-C
SCV-125H65UW-C
SCV-415H65UW-C
SCV-85H55UW-C
SCV-510H55UW-C
SCV-415H55UW-C
SCF-200.5G
SCF-150.75Z
SCF-150.5Z
SCF-153.5H52WR

規(guī)格
形式 SCV-155M SCV-510M SCV-514M
高峰試驗電壓 [kVp] 15 5 5
靜電容量[pF] 50-500 50-1000 90-1400
RF動作電壓 [kVp] 9 3 3
直線可變性 (pF/N) 42±4
(65pF 以上) 88±6
(80pF 以上) 115±8
(150pF 以上)
轉(zhuǎn)速（回） 12±1 12±1 12±1
最大容許電流 [Arms]
(at 13.56MHz) 100 100 100
回轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)矩（N?cm）
(kgf?cm) 24.5
2.5 24.5
2.5 24.5
2.5
重量（kg）
尺寸（長度×直徑） (mm)
1.3
140×φ73 1.35
140×φ73 1.4
140×φ73

真空電容器 MEIVAC
MEIVAC真空電容器系列，是基于明電舍的真空技術(shù)而開發(fā)的一種真空電容器。
真空電容器有以下用途
1 作為半導(dǎo)體薄膜制造設(shè)備的阻抗整合器
2 通信器材的發(fā)報線路，同調(diào)回路
3 誘電加熱設(shè)備的共振回路
4 各種高頻率電源的電壓增幅回路
近年來，由于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，真空電容器的用途擴大至CVD，蝕刻，滴濺設(shè)備等半導(dǎo)體薄膜制造設(shè)備阻抗
整合應(yīng)用領(lǐng)域。
 
真空可變電容器
真空可變電容器是通過移動真空容器內(nèi)的電極而實現(xiàn)靜電容量的變化的電容器。
除了了裝置115MM標(biāo)準(zhǔn)的型號，還搭載了耐高壓特殊電極的黃金型號，同時通過風(fēng)箱構(gòu)造以及增強材質(zhì)的大電
流低扭矩型（H系列）。

標(biāo)準(zhǔn)型特點 
1 壽命長
  采用高強度的不銹鋼風(fēng)箱，實現(xiàn)可變范圍二分之一以下的風(fēng)箱壽命達100萬循環(huán)。同時通過高強度特殊螺釘
構(gòu)造，在可變范圍二分之一的情況下實現(xiàn)總回轉(zhuǎn)數(shù)1000萬以上的長壽命。
2微型化
  陶瓷中心栓與外圍共振器一體化從而是微型化得以實現(xiàn)。
  統(tǒng)一設(shè)為全長140MM（裝置標(biāo)準(zhǔn)115MM），容易實現(xiàn)機器安裝時的可更換性。 
 
強電流低扭矩型特點 
    強電流通電
    風(fēng)扇采用銅合金新材料，可以實現(xiàn)強電流通電。（強電流規(guī)格：空冷110Arms、130Arms、150Arms、
160Arms)
    低扭矩
    H系列內(nèi)部構(gòu)造得到改良，小于18N.cm的低扭矩使得驅(qū)動馬達的微型化得以實現(xiàn)。
    長壽命
    采用高強度不銹鋼風(fēng)箱，通過可變范圍二分之一以下的風(fēng)箱壽命100萬回轉(zhuǎn)，以及高強度特殊螺釘構(gòu)造，
能夠?qū)崿F(xiàn)可變范圍二分之一的總回轉(zhuǎn)達到1500萬以上的超長壽命。
 
真空固定電容器
 
真空固定電容器的誘導(dǎo)體為真空，使用損耗較低的陶瓷作為絕緣體，極大的抑制了損耗系數(shù)。從而使電容器即
實現(xiàn)了微型化，又能耐高壓和承受強大電流。
特點
  耐高壓
  由于絕緣體是真空，絕緣體能承受很高的電壓，即使在高電壓回路中也安然無恙。
  低損耗
  真空誘電體能極大降低損耗。誘電體的損害只出現(xiàn)在構(gòu)成真空容器的電容器兩端的絕緣陶瓷以及導(dǎo)航用陶瓷
。
  微型化
  通過采用耐高壓的特殊電極實現(xiàn)微型化。
型號 峰值試驗電壓 RF動作電壓 靜電容量 最大許可容量電容 回轉(zhuǎn)行程 回轉(zhuǎn)數(shù) 尺寸
Type debion Peak test Peak working Capacitance Max. RF current Max.torque Turns Dimensions
  voltage voltage (Min.-Max.) (13.56MHz)     (Length×Diameter)
  (50/60Hz) (13.56MHz)   空冷/Air cooled      
SCV-55 5kVp 3kVp 30-500pF 100Arms 24.5N?cm 12回轉(zhuǎn) L140×φ60mm
SCV-7.55 7.5kVp 4.5kVp 30-500pF
SCV-151 15kVp 9kVp 10-100pF
SCV-152 12-200pF
SCV-152.5 30-250pF
SCV-510M 5kVp 3kVp 50-1000pF L140×φ73mm
SCV-514M 90-1400pF
SCV-155M 15kVp 9kVp 50-500pF
SCV-520M 5kVp 3kVp 85-2000pF L140×φ89mm
SCV-1010 10kVp 6kVp 80-1000pF
SCV-204 20kVp 12kVp 80-450pF
SCV-155G 15kVp 9kVp 25-500pF 90Arms 24.5N?cm 12回轉(zhuǎn) L140×φ62mm
SCV-251G 25kVp 15kVp 10-100pF
SCV-252G 12-200pF
SCV-252.5G 25-250pF
SCV-1010G 10kVp 6kVp 50-1000pF L140×φ73mm
SCV-1014G 90-1400pF
SCV-205G 20kVp 12kVp 50-500pF
SCV-1020G 10kVp 6kVp 85-2000pF L140×φ89mm
SCV-1510G 15kVp 9kVp 80-1000pF
SCV-250.3G 25kVp 15kVp 6-30pF 27Arms 19.6N?cm 5.5回轉(zhuǎn) L100×φ60mm
SCV-250.8G 10-80pF 72Arms
SCV-300.2G 30kVp 18kVp 6-20pF 21Arms
SCV-104G 10kVp 6kVp 60-450pF 90Arms L100×φ63mm
SCV-201.7G 20kVp 12kVp 45-170pF
SCV-7.55H65 7.5kVp 4.5kVp 20-500pF 110Arms 18N?cm 14回轉(zhuǎn) L154×φ65mm
SCV-151H65 15kVp 9kVp 20-100pF
SCV-152H65 20-200pF
SCV-152.5H65 20-250pF
SCV-510H82 5kVp 3kVp 25-1000pF 130Arms 18N?cm 14回轉(zhuǎn) L154×φ82mm
SCV-105H82 10kVp 6kVp 25-500pF
SCV-154H82 15kVp 9kVp 25-400pF
SCV-202H82 20kVp 12kVp 25-200pF
SCV-202.2H84 20kVp 12kVp 15-220pF 130Arms 18N?cm 10.5回轉(zhuǎn) L125×φ84mm
SCV-250.8H84 25kVp 15kVp 12-80pF
SCV-514H94 5kVp 3kVp 30-1400pF 150Arms 18N?cm 14回轉(zhuǎn) L154×φ94mm
SCV-107H94 10kVp 6kVp 30-700pF
SCV-155H94 15kVp 9kVp 30-500pF
SCV-202.5H94 20kVp 12kVp 30-250pF
SCV-520H110 5kVp 3kVp 35-2000pF 160Arms 18N?cm 14回轉(zhuǎn) L154×φ110mm
SCV-1010H110 10kVp 6kVp 35-1000pF
SCV-205H110 20kVp 12kVp 35-500pF
SCV-315H65G 3kVp 1.8kVp 20-1500pF 100Arms 18N?cm 14回轉(zhuǎn) L154×φ65mm
SCV-105H65G 10kVp 6kVp 20-500pF
SCV-201H65G 20kVp 12kVp 20-100pF
SCV-202H65G 20-200pF
SCV-202.5H65G 20-250pF
SCV-1010H82G 10kVp 6kVp 25-1000pF 120Arms 18N?cm 14回轉(zhuǎn) L154×φ82mm
SCV-155H82G 15kVp 9kVp 25-500pF
SCV-204H82G 20kVp 12kVp 25-400pF
SCV-252H82G 25kVp 15kVp 25-200pF
SCV-300.2H84G 30kVp 18kVp 10-20pF 120Arms 18N?cm 10.5回轉(zhuǎn) L125×φ84mm
SCV-1014H94G 10kVp 6kVp 30-1400pF 140Arms 18N?cm 14回轉(zhuǎn) L154×φ94mm
SCV-157H94G 15kVp 9kVp 30-700pF
SCV-205H94G 20kVp 12kVp 30-500pF
SCV-252.5H94G 25kVp 15kVp 30-250pF
SCV-1020H110G 10kVp 6kVp 35-2000pF 150Arms 18N?cm 14回轉(zhuǎn) L154×φ1
SCV-1510H110G 15kVp 9kVp 35-1000pF
SCV-255H110G 25kVp 15kVp 35-500pF

型號列舉
MEIDENSHA SCV-150.6HA55UW-C
MEIDENSHA SCV-150.75HA55UW-C
MEIDENSHA SCV-200.5H55UW-C
MEIDENSHA SCV-151H55UW-C
MEIDENSHA SCV-201H55UW-C
MEIDENSHA SCV-151.5FH55UW-C
MEIDENSHA SCV-152.5H55UW-※2
MEIDENSHA SCV-83.5FH55UW-C
MEIDENSHA SCV-55FH55UW-C
MEIDENSHA SCV-85H55UW-C 
MEIDENSHA SCV-310H55UW-C※2 
MEIDENSHA SCV-510H55UW-C
MEIDENSHA SCV-415H55UW-C
MEIDENSHA SCV-125H65UW-C※2※3
MEIDENSHA SCV-155H65UW-C
MEIDENSHA SCV-810H65UW-C
MEIDENSHA SCV-1010H65UW-C
MEIDENSHA SCV-415H65UW-C※2※3
MEIDENSHA SCV-515H65UW-C
MEIDENSHA VP110 
MEIDENSHA VP150  
MEIDENSHA UW70 
MEIDENSHA SCV-320H65UW-C
MEIDENSHA SCV-715H70UW-C
MEIDENSHA FS36S FS36 
MEIDENSHA FS43 
MEIDENSHA FC52 
MEIDENSHA FC52A FC62 
MEIDENSHA FH48C FH65C 
MEIDENSHA FH52WR 
MEIDENSHA FHA52WR 
MEIDENSHA VP94L 
MEIDENSHA SCV-251P94L
MEIDENSHA SCV-202.2P94L
MEIDENSHA SCV-153.5P94L
MEIDENSHA SCV-350.3P110
MEIDENSHA SCV-351P110
MEIDENSHA SCV-201.5P110C
MEIDENSHA SCV-251.5P110C
MEIDENSHA VP110 
MEIDENSHA SCV-302P110
MEIDENSHA SCV-202.5P110C
MEIDENSHA SCV-252.5P110C
MEIDENSHA SCV-253.5P110
MEIDENSHA SCV-205P110
MEIDENSHA VP65 
MEIDENSHA SCV-201P65
MEIDENSHA SCV-152P65C
MEIDENSHA SCV-202P65
MEIDENSHA SCV-152.5P65
MEIDENSHA SCV-202.5P65
MEIDENSHA SCV-104P65FW
MEIDENSHA SCV-124H65FW
MEIDENSHA SCV-7.55P65FW
MEIDENSHA SCV-105P65FW
MEIDENSHA SCV-125P65DW
MEIDENSHA SCV-255P110
MEIDENSHA SCV-158P110FW 15 
MEIDENSHA SCV-1510P110W 40 
MEIDENSHA SCV-1051P110W 40 
MEIDENSHA SCV-520P110W 40 
MEIDENSHA SCV-820P110W 40 
MEIDENSHA SCV-325P110FW 15 
MEIDENSHA SCV-340P110W 45 
MEIDENSHA VP82 
MEIDENSHA SCV-155P65DW
MEIDENSHA SCV-310P65FW
MEIDENSHA SCV-410P65FW
MEIDENSHA SCV-510P65W
MEIDENSHA SCV-810P65W
MEIDENSHA SCV-315P65DW
MEIDENSHA SCV-415P65DW
MEIDENSHA SCV-202P82
MEIDENSHA SCV-155P82W
MEIDENSHA SCV-1010P82W
MEIDENSHA SCV-515P82W
MEIDENSHA SCV-520P82W
MEIDENSHA SCV-200.5P82L
MEIDENSHA SCV-250.8P82L
MEIDENSHA SCV-201P82L
MEIDENSHA SCV-251P82L
MEIDENSHA SCV-201.5P82L
MEIDENSHA SCV-202P82L
MEIDENSHA SCV-202.2P82L
MEIDENSHA SCV-103.5P82LW
MEIDENSHA SCV-84P82LW
MEIDENSHA VP150 
MEIDENSHA SCV-405P150
MEIDENSHA SCV-1525P150W
MEIDENSHA SCV-560P150W
MEIDENSHA SCV-202.5P94 25 
MEIDENSHA "SCV-155P94
SCV-515P94 ""25"
MEIDENSHA SCV-520P94W 35 
MEIDENSHA SCV-523P94W 45 
MEIDENSHA SCV-150.5
MEIDENSHA SCV-151
MEIDENSHA SCV-152
MEIDENSHA SCV-155G
MEIDENSHA SCV-152.5
MEIDENSHA type2 
MEIDENSHA SCV-7.55
MEIDENSHA SCV-55
MEIDENSHA SCV-155M
MEIDENSHA SCV-205G
MEIDENSHA SCV-510M
MEIDENSHA SCV-1010G
MEIDENSHA SCV-514M
MEIDENSHA SCV-1014G
MEIDENSHA SCV-204
MEIDENSHA SCV-1010
MEIDENSHA SCV-520M
MEIDENSHA SCV-201.7G
MEIDENSHA SCV-104G
MEIDENSHA SCV-300.2G
MEIDENSHA SCV-250.3G
MEIDENSHA SCV-250.8G
MEIDENSHA SCV-151GT
MEIDENSHA SCV-152.5GT
MEIDENSHA SCV-155GT
MEIDENSHA SCV-510GT
MEIDENSHA SCV-515GT
MEIDENSHA SCV-150.75GTB
MEIDENSHA SCV-53GTB
MEIDENSHA SCF-300.25H48C
MEIDENSHA SCF-300.5H48C
MEIDENSHA SCF-300.75H48C
MEIDENSHA SCF-301H48C
MEIDENSHA SCF-351H48C
MEIDENSHA SCF-251.25H48C
MEIDENSHA SCF-251.5H48C
MEIDENSHA FHA52 
MEIDENSHA SCV-151HA52WR
MEIDENSHA SCV-151.5HA52WR
MEIDENSHA SCV-152HA52WR
MEIDENSHA SCV-153HA52WR
MEIDENSHA SCV-125HA52WR
MEIDENSHA SCV-510HA52WR
MEIDENSHA SCF-251.75H48C
MEIDENSHA SCF-252H48C
MEIDENSHA SCF-151H52WR
MEIDENSHA SCF-201H52WR 
MEIDENSHA SCF-151.5H52WR 
MEIDENSHA SCF-152H52WR
MEIDENSHA SCF-202H52WR
MEIDENSHA SCF-152.1H52WR 
MEIDENSHA SCF-152.5H52WR
MEIDENSHA SCF-153H52WR
MEIDENSHA SCF-153.5H52WR
MEIDENSHA SCF-153.7H52WR
MEIDENSHA SCF-124H52WR 
MEIDENSHA FH52 
MEIDENSHA SCF-124.5H52WR
MEIDENSHA SCF-125H52WR
MEIDENSHA SCF-105.5H52WR
MEIDENSHA SCF-106H52WR
MEIDENSHA SCF-106.5H52WR
MEIDENSHA SCF-107H52WR
MEIDENSHA SCF-56H52WR
MEIDENSHA SCF-107.5H52WR
MEIDENSHA SCF-510H52WR
MEIDENSHA SCF-810H52WR
MEIDENSHA SCF-512.5H52WR 
MEIDENSHA SCF-315H52WR
MEIDENSHA SCF-515H52WR
MEIDENSHA SCF-317.5H52WR
MEIDENSHA SCF-320H52WR
MEIDENSHA FH65C 
MEIDENSHA SCF-350.5H65C
MEIDENSHA SCF-351H65C
MEIDENSHA SCF-351.5H65C
MEIDENSHA SCF-351.75H65C
MEIDENSHA SCF-352H65C
MEIDENSHA SCF-352.5H65C
MEIDENSHA FC52 
MEIDENSHA SCF-150.5C
MEIDENSHA SCF-151C
MEIDENSHA SCF-151.5C
MEIDENSHA SCF-152C
MEIDENSHA SCF-150.5CA
MEIDENSHA FS36S 
MEIDENSHA SCF-51S
MEIDENSHA SCF-51.1S
MEIDENSHA SCF-51.2S
MEIDENSHA "SCF-51.3S
MEIDENSHA SCF-51.4S
MEIDENSHA SCF-150.8CA
MEIDENSHA SCF-150.9CA
MEIDENSHA SCF-51.5S 
MEIDENSHA SCF-52S 
MEIDENSHA FC52A 
MEIDENSHA FC62 
MEIDENSHA SCF-151CA
MEIDENSHA SCF-151.2CA
MEIDENSHA SCF-151.5CA
MEIDENSHA SCF-151.8CA
MEIDENSHA SCF-152.1CA
MEIDENSHA SCF-200.1C
MEIDENSHA SCF-200.5C
MEIDENSHA SCF-200.75C
MEIDENSHA SCF-201C
MEIDENSHA SCF-201.5C
MEIDENSHA SCF-150.1Z
MEIDENSHA SCF-150.2Z
MEIDENSHA SCF-150.25Z
MEIDENSHA SCF-200.3Z
MEIDENSHA SCF-150.33Z
MEIDENSHA SCF-150.4Z
MEIDENSHA SCF-150.5Z
MEIDENSHA SCF-150.75Z
MEIDENSHA SCF-150.8Z
MEIDENSHA SCF-150.84Z
MEIDENSHA SCF-150.9Z
MEIDENSHA SCF-151Z
MEIDENSHA SCF-151.2Z 120
MEIDENSHA SCF-151.3Z 1
MEIDENSHA SCF-151.4Z 1
MEIDENSHA SCF-151.5Z 1
MEIDENSHA SCF-151.8Z 1
MEIDENSHA SCF-152Z 200
MEIDENSHA SCF-52.5Z 25
MEIDENSHA SCF-102.5Z 2
MEIDENSHA SCF-53Z 300 
MEIDENSHA SCF-103Z 300
MEIDENSHA SCF-53.5Z 35
MEIDENSHA SCF-103.5Z 3
MEIDENSHA SCF-54Z 400 
MEIDENSHA SCF-104Z 400
MEIDENSHA SCF-55Z 500 
MEIDENSHA SCF-105Z 500
MEIDENSHA SCF-152.2 22
MEIDENSHA SCF-152.5 25
MEIDENSHA SCF-153 300 
MEIDENSHA SCF-56 600 
MEIDENSHA SCF-57 700 
MEIDENSHA SCF-58 800 
MEIDENSHA SCF-59 900 
MEIDENSHA SCF-510 1000
MEIDENSHA VP94
MEIDENSHA VP110" 
MEIDENSHA VP82
MEIDENSHA VP82L VP94L" 
MEIDENSHA VP65" 
MEIDENSHA SCV-510M
MEIDENSHA SCV-514M
MEIDENSHA SCV-155M
MEIDENSHA SCV-520M
MEIDENSHA SCV-1010
MEIDENSHA SCV-204
MEIDENSHA SCV-1010G
MEIDENSHA SCV-205G
MEIDENSHA SCV-55
MEIDENSHA SCV-151
MEIDENSHA SCV-152
MEIDENSHA SCV-152.5
MEIDENSHA SCV-155G
MEIDENSHA SCV-7.55
MEIDENSHA SCV-514M  5KV-1400PF
MEIDENSHA SCV-205G  （MWF034）
MEIDENSHA SCV-204
MEIDENSHA SCV-520M
MEIDENSHA SCF-201C
MEIDENSHA SCF-200。5C 
MEIDENSHA SCF-55Z
MEIDENSHA SCV-250.8D
MEIDENSHA SCV-202D
MEIDENSHA SCF-153
MEIDENSHA SCV-520M 
MEIDENSHA SCV-514M   5KV-1400PF     
MEIDENSHA SCV-514M  5KV-1400PF
MEIDENSHA SCV-7.55
MEIDENSHA SCF-150.1Z  
MEIDENSHA SCV-152.5
MEIDENSHA SCV-514M
MEIDENSHA SCV-151
MEIDENSHA SCV-155M
MEIDENSHA SCV-510M
MEIDENSHA SCV-7.55 (5KV-500pF）
MEIDENSHA SCV-155M(15KV-500pF)
MEIDENSHA SCV-205G
MEIDENSHA SCF-201C
MEIDENSHA SCV-55
MEIDENSHA SCV-7.55
MEIDENSHA SCV-151
MEIDENSHA SCV-152
MEIDENSHA SCV-152.5
MEIDENSHA SCV-510M
MEIDENSHA SCV-514M
MEIDENSHA SCV-155M
MEIDENSHA SCV-520M
MEIDENSHA SCV-1010
MEIDENSHA SCV-204
MEIDENSHA SCV-155G
MEIDENSHA SCV-251G
MEIDENSHA SCV-252G
MEIDENSHA SCV-252.5G
MEIDENSHA SCV-1010G
MEIDENSHA SCV-1014G
MEIDENSHA SCV-205G
MEIDENSHA SCV-1020G
MEIDENSHA SCV-1510G
MEIDENSHA SCV-250.3G
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MEIDENSHA SCV-300.2G
MEIDENSHA SCV-104G
MEIDENSHA SCV-201.7G
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MEIDENSHA SCV-510H82
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MEIDENSHA SCV-514H94
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MEIDENSHA SCV-202.5H94
MEIDENSHA SCV-520H110
MEIDENSHA SCV-1010H110
MEIDENSHA SCV-205H110
MEIDENSHA SCV-315H65G
MEIDENSHA SCV-105H65G
MEIDENSHA SCV-201H65G
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MEIDENSHA SCV-202.5H65G
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MEIDENSHA SCV-1020H110G
MEIDENSHA SCV-1510H110G
MEIDENSHA SCV-255H110G

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