產(chǎn)品名稱：BDISCOM電源BDS SP 3
產(chǎn)品型號：BDS SP 3
產(chǎn)品介紹：
BDISCOM是一家制造公司，生產(chǎn)直流低壓和高壓/安培、MF 40 kHz 和 RF -13.56 MHz 以及臺式射頻等離子體反應器系列，還提供發(fā)電機、電源和過程控制系統(tǒng)。多年來積累了豐富的設計開發(fā)經(jīng)驗，通過不斷地研究創(chuàng)新，提高產(chǎn)品質(zhì)量及性能，滿足客戶需求。
BDS SP 3是用于直流濺射工藝的新型電源系列。
性能特點：
?所有單元均配備用戶友好的主動式觸摸屏顯示器
?點火電壓高達 1,1 kV
?電弧檢測 DV/DT 關(guān)閉時間 < 1mSec
?冷卻空氣
參數(shù)：
?電源要求：400VAC - 3PH 50Hz (±10%)
?max功率輸出：3、6 和 12kw FS
?max電壓輸出：1000 Volt FS
?max電流輸出：6、12 和 25 安培
?點火：1,1 KVolt
?電弧探測器：< 200 nSec 檢測，< 1 mSec DV/DT 關(guān)閉時間
?效率：> 90 %
?顯示：觸摸面板 240x128 像素
?調(diào)節(jié)模式：功率/電壓/電流（可選）
?冷卻：空氣（強制）
?接口：RS 232 - Profibus - A/D（Profibus 選項）
?工作溫度：5-40°C
?尺寸：19” 機架 - 4HU
