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產(chǎn)品描述：

LAM 810-017003-003 是一款用于半導(dǎo)體制造設(shè)備的控制模塊。它由 LAM Research 生產(chǎn)，用于控制各種半導(dǎo)體制造工藝，包括蝕刻、沉積、光刻和離子注入。

功能

• 控制半導(dǎo)體制造設(shè)備的運動和參數(shù)
• 監(jiān)控設(shè)備狀態(tài)并提供故障排除信息
• 與其他設(shè)備和軟件系統(tǒng)進(jìn)行通信

規(guī)格

• 型號：LAM 810-017003-003
• 電壓：24V
• 電流：10A
• 功率：240W
• 尺寸：200mm x 100mm x 50mm
• 重量：1kg

應(yīng)用

• 半導(dǎo)體制造
• 晶圓制造
• 電子元件制造

優(yōu)勢

• 高可靠性和穩(wěn)定性
• 易于使用和維護(hù)
• 可擴(kuò)展性和靈活性

• 
  

1. 
   

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IC697CPX935	PR9268/301-000	140NRP31200C	FBMSVH
IC697CPX935	PP C905 AE101 3BHE014070R0101 .	140CRP31200C	FBP10
IC697CPX935	PM866K01/PM866K02	140NRP95400	FBPCB-0076
IC697HSC700	PM866K01	140NRP95401C	FCM100E
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