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產品描述：

LAM 602006 是一款用于半導體制造設備的控制模塊。它由 LAM Research 生產，用于控制各種半導體制造工藝，包括蝕刻、沉積、光刻和離子注入。

功能

• 控制半導體制造設備的運動和參數(shù)
• 監(jiān)控設備狀態(tài)并提供故障排除信息
• 與其他設備和軟件系統(tǒng)進行通信

規(guī)格

• 型號：LAM 602006
• 電壓：24V
• 電流：10A
• 功率：240W
• 尺寸：200mm x 100mm x 50mm
• 重量：1kg

應用

• 半導體制造
• 晶圓制造
• 電子元件制造

優(yōu)勢

• 高可靠性和穩(wěn)定性
• 易于使用和維護
• 可擴展性和靈活性

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