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plasource無(wú)電源射頻維修修復(fù)方法
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上架日期:2024-04-18 13:38:10
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詳細(xì)說(shuō)明

    在DUT而不是其輸入端子上獲得干凈的電壓讀數(shù),考慮到大多數(shù)標(biāo)準(zhǔn)~3英尺測(cè)試引線的電阻為~50mΩ(一對(duì)為~100mΩ),當(dāng)使用低電阻DUT時(shí),引線上的壓降可能會(huì)很大,如果您正在運(yùn)行具有快速變化的電壓或負(fù)載的測(cè)試。。

    plasource無(wú)電源射頻維修修復(fù)方法AERFG-1251、RFG 3001、RFG-5500,霍霆格PFG 300 RF、Truplasma MF3030,塞恩R301-13、R601-13、R1001-13等各種各樣的型號(hào)射頻電源維修請(qǐng)認(rèn)準(zhǔn)我們常州凌科自動(dòng)化公司,我們旗下有30多位的技術(shù)人員在線提供故障咨詢及維修服務(wù)。

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    事實(shí)上,幾乎任何間歇性系統(tǒng)問(wèn)題都可能由射頻電源,我總是懷疑當(dāng)片狀系統(tǒng)操作是癥狀,當(dāng)然,以下相當(dāng)明顯的癥狀直指射頻電源作為可能的原因:系統(tǒng)完全死機(jī)(無(wú)風(fēng)扇,無(wú)光標(biāo)),煙,熔斷斷路器,如果您懷疑射頻電源有問(wèn)題。。

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    射頻電源無(wú)輸出功率原因
    1、電源內(nèi)部故障:射頻電源的電源電路、輸出匹配電路、驅(qū)動(dòng)電路或控制電路出現(xiàn)故障,如電源變壓器損壞、整流器失效、晶體管損壞、驅(qū)動(dòng)信號(hào)異常、微處理器損壞或控制信號(hào)異常等,都可能導(dǎo)致電源無(wú)法正常輸出。
    2、外部負(fù)載故障:負(fù)載過(guò)大或負(fù)載不匹配等也可能導(dǎo)致電源無(wú)輸出。此時(shí),嘗試減小負(fù)載,看是否能夠恢復(fù)正常工作狀態(tài)。
    3、供電問(wèn)題:電源供應(yīng)不正常,如電源線未連接牢固、電源插座故障或電源開關(guān)未打開,都可能影響射頻電源的輸出功率。
    4、輸入信號(hào)問(wèn)題:射頻電源通常需要外部輸入信號(hào)來(lái)驅(qū)動(dòng)和控制功率輸出。如果輸入信號(hào)源工作不正?;蛭凑_連接到射頻電源的輸入端口,也可能導(dǎo)致無(wú)輸出。
    5、保護(hù)電路觸發(fā):射頻電源通常具有內(nèi)置的保護(hù)電路,用于保護(hù)設(shè)備免受過(guò)載、過(guò)熱等損壞。如果存在異常情況,保護(hù)電路可能會(huì)觸發(fā)并將功率輸出關(guān)閉。
    6、控制設(shè)置問(wèn)題:射頻電源的控制面板或軟件界面設(shè)置不正確,如功率輸出設(shè)置、頻率設(shè)置等不滿足要求,也可能導(dǎo)致無(wú)輸出。

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    這些研究表明,n我通過(guò)OMT和RMT找到的值與使用Langmuir程序從EPPC計(jì)算的n和從測(cè)量的EEDF中計(jì)算的值進(jìn)行比較。例如,在參考文獻(xiàn)中。35,在40mTorr處氦氣直流放電正柱中發(fā)現(xiàn)的等離子體密度和0.2A放電電流中發(fā)現(xiàn)的,來(lái)自EEDF、電子的軌道理論、來(lái)自離子的OMT和RMT分別與1.0.9.0和0.25相關(guān)(n相差36倍)我值!在放電電流和氣體壓力范圍內(nèi),氦氣和氮?dú)獾牡入x子體密度之間存在顯著差異的類似模式。35在氬氣壓力為0.3和0.03Torr的CCP中,從OMT推斷的離子體密度與EEPF之間存在顯著差異。28從OMT中發(fā)現(xiàn)的p=0.03Torr時(shí)的血漿密度是EEPF的2.5倍。

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    射頻電源無(wú)輸出功率維修方法
    1、確認(rèn)電源線是否連接牢固,電源插座是否正常工作,電源開關(guān)是否打開。使用測(cè)試儀器檢查電源的輸入電壓和電流,確保它們?cè)谡7秶鷥?nèi)。
    2、確認(rèn)外部輸入信號(hào)源是否正常工作,并正確連接到射頻電源的輸入端口。使用信號(hào)發(fā)生器或示波器測(cè)試輸入信號(hào)的幅度和頻率,確保它們滿足射頻電源的要求。
    3、逐一檢查電源電路中的關(guān)鍵元件,如電源變壓器、整流器、電容器、電阻器等,確保它們沒(méi)有損壞或老化。使用萬(wàn)用表或示波器測(cè)試這些元件的電壓、電流和波形,判斷它們是否正常工作。
    4、檢查驅(qū)動(dòng)電路中的晶體管、驅(qū)動(dòng)信號(hào)等是否正常。檢查控制電路中的微處理器、控制信號(hào)等是否工作正常。如有故障,更換損壞元件或調(diào)整驅(qū)動(dòng)信號(hào)、控制信號(hào),確保它們正常工作。
    5、測(cè)試射頻輸出匹配電路,檢查電阻器和電容器等元件是否正常工作。如有故障,更換損壞的元件,重新進(jìn)行輸出匹配。
    6、確認(rèn)射頻電源的保護(hù)電路是否觸發(fā),如果觸發(fā),找出觸發(fā)的原因并解決。檢查保護(hù)電路中的元件是否工作正常,如有問(wèn)題,及時(shí)更換。
    7、檢查射頻電源的控制面板或軟件界面,確保功率輸出設(shè)置、頻率設(shè)置等參數(shù)正確無(wú)誤。
    8、檢查外部負(fù)載是否過(guò)大或不匹配,這可能導(dǎo)致電源無(wú)輸出。嘗試減小負(fù)載或更換匹配的負(fù)載,看是否能夠恢復(fù)正常工作。

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    您無(wú)需在項(xiàng)目中針對(duì)此特定輸出進(jìn)行進(jìn)一步的修正,但是,好持續(xù)監(jiān)控輸入和輸出電壓電以及IC1的電流和工作頻率電,以及用于測(cè)量的L1的感應(yīng)電流。要測(cè)試電路,您可以從鋰離子電池饋入3.7V輸入電壓。也可以使用三節(jié)1.2V(3*1.2V=3.6V)鎳鎘或鎳氫電池。取而代之的是,您還可以將穩(wěn)壓3.7V作為輸入饋入電路以測(cè)試電路。在實(shí)際實(shí)施該項(xiàng)目之前,需要考慮一些要點(diǎn)。在電路中沒(méi)有負(fù)載的情況下,輸出電壓會(huì)隨著電路中使用的電阻器R7(270-470歐姆)的值而變化。同樣,為保證電路正常工作,應(yīng)在CON4端固定一個(gè)大于10mA的負(fù)載。電路的電流靈敏度取決于電阻R1的值。這里發(fā)布的項(xiàng)目是一個(gè)3000W逆變器,具有內(nèi)置充電器、過(guò)壓和欠壓控制、溫度控制、基于微控制器等功能。

    將電源插入墻上插座并測(cè)量其直流輸出,注意輸出是穩(wěn)定還是波動(dòng),如果輸出接近額定值,但有波動(dòng),則變壓器和整流器可能沒(méi)問(wèn)題,拔下電源插頭,斷開整流器與濾波器的連接,并使用數(shù)字萬(wàn)用表測(cè)量每個(gè)濾波電容器,檢查電容器是否短路。。 該開關(guān)使能或禁用射頻電源內(nèi)部的倍壓器,因此無(wú)論哪種情況,內(nèi)部電路的工作電壓均為240V,如果開關(guān)設(shè)置不正確,內(nèi)部電壓將過(guò)高或過(guò)低,從而導(dǎo)致故障,具有通用輸入的射頻電源設(shè)計(jì)為在整個(gè)輸入電壓范圍內(nèi)工作,無(wú)需使用開關(guān)。。 特別是如果您有一個(gè)加載的系統(tǒng),卸下蓋板實(shí)際上會(huì)導(dǎo)致系統(tǒng)過(guò)熱,蓋子關(guān)閉后,射頻電源風(fēng)扇不再吸入空氣通過(guò)系統(tǒng),相反,風(fēng)扇最終僅冷卻射頻電源,其余部分系統(tǒng)必須通過(guò)簡(jiǎn)單的對(duì)流進(jìn)行冷卻,雖然大多數(shù)系統(tǒng)沒(méi)有由于這個(gè)原因立即過(guò)熱。。

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    如果測(cè)量值不在此范圍內(nèi),則系統(tǒng)將從看不到Power_Good信號(hào),因此無(wú)法正常啟動(dòng)或運(yùn)行,在大多數(shù)情況下,射頻電源損壞,必須更換,繼續(xù)測(cè)量主板上針腳的電壓范圍,然后驅(qū)動(dòng)射頻電源連接器,如果您出于測(cè)試目的測(cè)量電壓。。 因?yàn)樗鼈兺ǔ13至己脿顟B(tài)的時(shí)間比較小的電容器長(zhǎng)得多,但我需要達(dá)到天免費(fèi)送貨的門檻),我還決定購(gòu)買超快速開關(guān)二極管對(duì)DP1的替代品,該二極管標(biāo)記為NDL020-10F,無(wú)論它是否正常工作,我都想更換它。。

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    當(dāng)一個(gè)或多個(gè)風(fēng)扇不工作時(shí),請(qǐng)關(guān)閉設(shè)備盡快避免過(guò)熱,其余的粉絲可能會(huì)無(wú)法保持適當(dāng)?shù)沫h(huán)境溫度,如果輸出顯示所有風(fēng)扇都以0RPM運(yùn)行,則風(fēng)扇模塊未正確安裝在設(shè)備中,查看風(fēng)扇模塊指示燈,琥珀色單閃顯示向風(fēng)扇通電的時(shí)間模塊。。 帶著新的信心和樂(lè)觀,我決定[升級(jí)"電源,給它全新的電容器,并在熨斗還熱的時(shí)候更換R4,R5和R9,前2個(gè)是3W電阻器,我沒(méi)有可用(前下訂單時(shí)沒(méi)有想到更換它們),所以我選擇了R4的5W,我的0.22Omh電阻是R5的7W(R5是Q1發(fā)射極上的檢測(cè)電阻)。。 不存在調(diào)制信號(hào),Q1的電抗不會(huì)改變,泄漏或短路的C1也會(huì)殺死Q1的電抗響應(yīng),晶體管Q1可能仍能正常工作,但由于C2開路,電抗變化可能不會(huì)傳遞到Q2的諧振電路,用數(shù)字萬(wàn)用表檢查電阻器的值是否正確,電抗調(diào)制器電路中的電阻器將是具有緊密容差的精密類型。。

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