薄膜測厚儀用于測量較軟或較硬材料薄膜厚度，根據(jù)測量材料可選擇不同測力范圍滿足不同測量任務需求。低測力可達0.06N，高分辨率0.01μm。
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分辨率：0.1μm 測力：0.3-1.3N（根據(jù)需要選擇） |
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分辨率：1μm 測力：0.4-1.6N（根據(jù)需要選擇） |
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分辨率：0.01μm 測力：0.06-0.8N（根據(jù)需要選擇） |
