測定対象に影響を與えない、非接觸による測定
ディジタル表示のため、読み取りが簡単
単純なセンサの構(gòu)造が、優(yōu)れた耐久性を?qū)g現(xiàn)
獨(dú)自の演算方式により高精度・高安定性・高分解能
インラインによる厚さ測定が可能
導(dǎo)體・半導(dǎo)體から絶縁體まで測定対象は広範(fàn)囲
演算機(jī)能內(nèi)蔵のため、各種演算統(tǒng)計(jì)処理が可能
ディジタル出力、プリンタ用出力を備えていますので、記録等が可能
豊富なインタフェースにより、計(jì)測制御のシステムアップが可能
測定方法/演算式の追加・登録が可能
測定サンプル例 |
導(dǎo)體・半導(dǎo)體 |
絶縁體 |
シリコンウェハ、鋼板、アルミ板、ハードディスク、プリント基板、その他金屬板などクリーンさを要求されるもの、軟らかいもの、鏡面仕上げ、キズのつきやすいもの。 |
ガラス、ポリエチレン、ポリプロピレンなどプラスチック類。 |
概略仕様
測定項(xiàng)目 |
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表示モード |
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分解能 |
CL-6200型に、予めセットされたセンサにより自動(dòng)的に決定。センサ7種までセット可能。
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パラメータ設(shè)定 |
測定・演算に必要な各種パラメータはパネル面の各種キーを使用し、內(nèi)部メモリーに設(shè)定します。これらの設(shè)定値はパワーオフメモリーにより電源を切っても記憶されます。 |
サンプリング時(shí)間 |
20ms、80ms選択 |
アベレージング |
アナログ出力/BCD出力/CMP出力時(shí)
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リアルタイムデータ処理 |
測定データの最大値、最小値をリアルタイムで表示 |
データ・メモリー |
測定データを內(nèi)部メモリーより記憶。また、記憶されたデータを使って各種演算統(tǒng)計(jì)処理をします。
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コンパレー夕機(jī)能 |
獨(dú)立した2チャンネルのコンパレータ機(jī)能を內(nèi)蔵。 出力:ノーマルオープン無電圧接點(diǎn) |
表示 |
320×240ドットリックス液晶表示 |
アナログ出カ |
任意に対象を選択可能な2つのアナログ出力
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プリンタ出力 |
計(jì)測データをプリント出カ(セントロニクス準(zhǔn)拠) |
外部コントロール |
外部の接點(diǎn)信號等により、制御可能
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インタフエース/入力信號 |
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電源 |
AC 100V ~ 240V 50/60 Hz 消費(fèi)電力 60 VA 以下 |
使用環(huán)境(本體のみ) |
溫度:+18 ℃~+28 ℃(精度保証範(fàn)囲)、0 ℃~+40 ℃(使用範(fàn)囲) 濕度:20~80 %R.H.(但し結(jié)露しないこと) |
外形寸法 |
315(W)×150(H)×345(D)mm |
質(zhì)量 |
約 6 kg |