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低溫等離子法廢氣處理特點(diǎn)：
1:自動化程度好
2:工藝簡潔，操作簡單，方便
3:凈化效率佳、無二次污染

等離子是由電子、離子、自由基和中性離子流組成，工作狀態(tài)呈流星雨狀導(dǎo)電性流體，屬固態(tài)、液、氣態(tài)之外第四種物質(zhì)形態(tài)。等離子發(fā)生器整體保持電中性，安全可靠。
按離子的溫度，等離子分為熱平衡等離子體、非平衡等離子體和低溫等離子體采用低溫等離子體分解油霧、廢氣等污染介質(zhì)時，等離子體中的高能離子起決定性的作用。
流星雨狀的高能離子與介質(zhì)內(nèi)分子（原理）發(fā)生非彈性碰撞，將能量轉(zhuǎn)化成基態(tài)分子（原子）的內(nèi)能，發(fā)生激發(fā)、離解、電離等一系列過程使污染介質(zhì)處于活化狀態(tài)。
污染介質(zhì)在等離子體的作用下，產(chǎn)生活性自由基，活化后的污染物分子經(jīng)過等離子體定向鏈化學(xué)反應(yīng)后被脫除。當(dāng)離子平均能量超過污染介質(zhì)中化學(xué)鍵結(jié)合能時，分子鏈斷裂，污染介質(zhì)分解，并在等離子發(fā)生器吸附場的作用下被收集。在低溫等離子體中，可能發(fā)生各類型的化學(xué)反應(yīng)，這主要取決于等離子的平均能量、離子密度、氣體溫度、污染物介

質(zhì)內(nèi)分子濃度及共存的介質(zhì)成分。