| 產品參數 | |||
|---|---|---|---|
| 供應雷尼紹光柵尺讀數頭RGH22/RGH24/RGH25/RH100 品牌 | renishaw雷尼紹 | ||
| 傳感器類型 | 光柵 | ||
| 精度 | 1um | ||
| 分辨率 | 0.1UM | ||
| 種類 | 1000000490 | ||
| 可售賣地 | 全國 | ||
| 型號 | RGH22 | ||
規(guī)格手冊
光柵系統(tǒng)具有極好的抗污染能力、其超凡的技
術指標更是位置反饋領域的一大新突破。
采用 直線鋼帶和因鋼柵尺或圓光柵，在100?m/s
(36?000?rev/min)?的 速下可實現1?nm的分辨率。
非接觸式光柵：
無需電池
?寬松的安裝公差使安裝簡單
l?系統(tǒng)精度為±?0.7″（光柵直徑
為413mm）
l?角度分辨率為0.01″
l?多種直徑和刻線數，與一系列的
工業(yè)標準的控制器兼容（直徑從
52?m?m?到413?m?m，刻線數從
4,096?到64,800?）
l?高速、非接觸的光學測量系統(tǒng)
l?零反向間隙
l?具有 的錐度基面安裝方式，
使安裝簡單、誤差 小
l?與高真空兼容
l?外型小巧，易于集成
l?低質量、低轉動慣量
l?有100，150?和200?m?m?外徑的
轉動慣量的圓光柵可選
RGH20?簡介
l?與20μm?柵距RESR?圓光柵兼容
l?光學濾波系統(tǒng)提供 的抗污跡
能力
l?小巧堅固的外殼
l?工業(yè)標準的數字和模擬信號輸出
l?內置細分卡和安裝LED?指示燈
l?分辨率從5?μm?，1?μm，0.5?μm?，
0.1μm，50nm，20nm?到10nm
l?參考零位或單限位開關傳感器
l?高柔性雙屏蔽8?芯電纜
l?三態(tài)低電平報警信號或全報警輸出
l14.8mm（或10.5?mm?）×36.
0mm×13.5mm?(H×L×W)
l?可選高真空兼容型
RGH41?被用來讀取RGS40-S?金屬光柵，
而RGH40?則用于讀取RGS40-G?玻璃光
柵。同樣，標準配置包括有磁性零位
標記和雙限位輸出。兩種讀數頭型號
都配有雷尼紹 的L?E?D?安裝指示燈。
RG4?本質上采用了與RG2?相同的光
學原理。但假如這樣的話，下面圖示中
的紅外發(fā)光二極管LED?發(fā)出的光與光柵
軸線方向成90°反射，而不是與之相平
行。
指示光柵通過與RG2?相同的方式被
定位，以便在檢測平面內產生正弦干涉
條紋。
RG4?系列光柵的工作原理允許使用
多種類型的光柵，例如：
1?）表面涂漆，反面具有自粘層的
RGS40-S?鍍金鋼帶光柵。使用
一系列 的光柵安裝工具，
便可很方便的實現光柵的連續(xù)
安裝。
2?）長度較短并需要精度預校準的
鍍鉻玻璃光柵。雷尼紹提供單
根長度 長為1m?的RGS40-G?玻
璃光柵。
3?）用戶自行設計的反射式刻劃直
線光柵和圓鋼帶光柵
RG4?讀數頭繼承了RG2?短周期誤
差小的優(yōu)點，典型的周期誤差為±0.
25μm。RGS40-S?規(guī)定的線性度在
60mm?長度上僅有±1μm?并且在任意
1m?的長度上低于±3μm。RGS40-G
玻璃光柵的規(guī)格請參閱下頁。
RG4?系列產品種類
RGH41
l?與RGS40-S?鋼帶光柵兼容
l?小巧堅固的外殼
l?寬松的安裝調整間隙和公差
l?工業(yè)標準的數字和模擬信號輸出
l?內置細分卡和安裝LED?指示燈
l?分辨率從10μm，5μm?，2?μm?到1μm
l?參考零位和雙限位開關傳感器
l?高柔性雙屏蔽12?芯電纜
l?三態(tài)低電平報警信號或全報警輸出
l?16.0mm×44.0mm×27.0mm?(H×L×W)
RGH34
l?與RGS40-S?鋼帶光柵和其它40μm?反射光柵兼容
l?與40μm?的RESR?圓光柵兼容
l?超小、緊湊的讀數頭
l?寬松的安裝調整間隙和公差
l?質量<2g
l?工業(yè)標準的數字和模擬信號輸出
l?緊湊的PCB?接口提供一系列的插補輸出
l?分辨率從10μ?m，5μ?m，2μ?m，1μ?m，0.?4μ?m?到
0.2μm
l?FPC?帶狀電纜
l?參考零位和單限位開關傳感器
l?三態(tài)低電平報警信號或全報警輸出
l?9.5mmX15mmX15mm(HxLxW)
RGH40
l?與RGS40-S?鋼帶光柵兼容
l?與40μm?的RESR?圓光柵兼容
l?小巧、緊湊的讀數頭
l?寬松的安裝調整間隙和公差
l?內置細分卡和安裝LED?指示燈
l?工業(yè)標準的數字和模擬信號輸出
l?緊湊的PCB?接口提供一系列的插補輸出
l?分辨率從10μ?m，5μ?m，2μ?m，1μ?m，0.?4ìm?到0.2?μ?m
l?參考零位和單限位開關傳感器
l?高柔性雙屏蔽12?芯電纜
l?三態(tài)低電平報警信號或全報警輸出
l?17mmX44mmX27mm(HxLxW)
RGH40-G
l?鍍鉻刻線柵距為40?μ?m的玻璃光柵尺
l?標準測量長度有1?2?0?、1?70?、2?2?0?、2?7?0?、3?0?0?、
500、750mm?和1000mm?可選
l?熱膨脹系數<8.3?-?8.5ppm/℃
l?精度：±?4.16μ?m/m
l?可用金屬夾或可選的自粘安裝方式
l?同RGH40?讀數頭系列兼容
G?4?的優(yōu)點是安裝簡便、容污性強，這種
優(yōu)點被用于X?Y?系統(tǒng)。緊湊的讀數頭使用玻璃網格板的“棋
盤”式鍍鉻刻線作為指示光柵尺，該系列有不同規(guī)格。
工作原理
同RG2?和RG4?系統(tǒng)一樣，RGH42?讀數頭的各光學元件讀
取來自刻線的和 弱的反射光。因為反射區(qū)域和非反射
區(qū)域組成的圖案使X?軸和Y?軸都有反射光，由讀數頭中互成
90o的兩個光學元件分別讀取。
光柵尺
光柵板由熱膨脹系數為8μm/m/℃的玻璃制成。鍍鉻
光柵板X?軸和Y?軸的柵距都是40μm，可與RG4?讀數頭兼
容。平面光柵的尺寸可達200mmX200mm。
讀數頭
RGH42?讀數頭的兩個光學元件集成在一個殼體內，分別
讀出X?,?Y?軸的信號并通過兩路獨立的電纜輸出。
讀數頭輸出為1Vpp?的標準模擬量輸出，一系列RGE?細
分卡可輸出數字量方波信號，分辨率為10?μ?m?到0?.?1μ?m。
細分卡內置安裝LED?指示燈。
讀數頭的安裝面可為頂部、底部或側面，標準塑料片
可調整安裝間隙。
性能
與RG4?讀數頭一樣，RGH42?的周期誤差小，典型情況
為±?0.25μ?m 的平面光柵（70mmX70mm）精度為±
2.5?μ?m? SDE（細分誤差）。
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