| 產(chǎn)品參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | 艾羅德克 | ||
| 顏色 | 白色 | ||
| 封裝 | 有 | ||
| 批號 | 128866 | ||
| 數(shù)量 | 100 | ||
| 重量 | 10kg | ||
| 部件 | 直線電機(jī) | ||
| 精度 | 500nm | ||
| 分辨率 | 1nm | ||
| 尺寸 | 80x80mm | ||
| 應(yīng)用 | 檢測加工 | ||
| 定制 | 否 | ||
| 工作溫度 | 常溫 | ||
| 直線度 | 10 | ||
| 可售賣地 | 北京;天津;河北;山西;內(nèi)蒙古;遼寧;吉林;黑龍江;上海;江蘇;浙江;安徽;福建;江西;山東;河南;湖北;湖南;廣東;廣西;海南;重慶;四川;貴州;云南;西藏;陜西;甘肅;青海;寧夏;新疆 | ||
| 型號 | ANT130XY | ||
aerotech ANT130XY雙軸XY納米定位級平臺
我們的超精密ANT130XY載物臺采用集成的雙軸設(shè)計，可提供卓越的平面性能和出色的幾何特性。ANT130XY載物臺配備剛性、抗蠕變交叉滾子軸承、高分辨率位置反饋和無鐵芯直線電機(jī)，可實現(xiàn)最平穩(wěn)、最精確的運動，并通過超高精度2D校準(zhǔn)進(jìn)一步增強，以優(yōu)化最苛刻的檢測和制造工藝。此外，動態(tài)優(yōu)化的設(shè)計可實現(xiàn)令人印象深刻的速度和工藝吞吐量。
設(shè)計特點
增強的第二代設(shè)計
實現(xiàn)最小增量運動至 0.5 nm - 新
通過集成的 XY 設(shè)計優(yōu)化正交性、直線度和平整度
通過 ULTRA 校準(zhǔn)選件保證 ±225 nm 或更高的二維精度
采用高精度交叉滾子軸承，具有出色的動態(tài)性能和充足的負(fù)載能力
通過無鐵芯直驅(qū)直線電機(jī)最大限度地提高過程吞吐量和可靠性
主要應(yīng)用
ANT130XY非常適合需要高精度和動態(tài)定位性能的多軸應(yīng)用，包括：
光子學(xué)組裝和檢查
光纖對準(zhǔn)和優(yōu)化
光學(xué)制造、測試和檢驗
傳感器測試和認(rèn)證
半導(dǎo)體加工和檢測
表面計量和剖面測量
研究和實驗室應(yīng)用
超精密載物臺設(shè)計
ANT130XY的集成雙軸設(shè)計允許您優(yōu)化關(guān)鍵的幾何元素，如正交性，直線度和平整度，從而產(chǎn)生具有出色運動特性的載物臺。我們的直接驅(qū)動技術(shù)沒有滯后或間隙，可在 X 和 Y 尺寸上實現(xiàn)精確且可重復(fù)的納米級運動。ANT130XY 提供三種行程選項，范圍從 60 mm x 60 mm 到 160 mm x 160 mm，所有行程均具有 85 mm 的緊湊總高度。
