| 產(chǎn)品參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | PFEIFFER普發(fā)真空 | ||
| 重量 | 23KG | ||
| 輸送介質(zhì) | 空氣 | ||
| 驅(qū)動(dòng)方式 | 電動(dòng) | ||
| 冷卻類型 | 空氣 | ||
| 尺寸（長 x 寬 x 高） | 514 x 190 x 270 毫米 | ||
| 抽速 | 14 m3/h | 8.24 cfm | 233.33 l/min | ||
| 連接法蘭（入口） | DN 25 ISO-KF | ||
| 連接法蘭（出口） | DN 16 ISO-KF | ||
| 可售賣地 | 北京;天津;河北;山西;內(nèi)蒙古;遼寧;吉林;黑龍江;上海;江蘇;浙江;安徽;福建;江西;山東;河南;湖北;湖南;廣東;廣西;海南;重慶;四川;貴州;云南;西藏;陜西;甘肅;青海;寧夏;新疆 | ||
| 型號(hào) | ACP15 | ||
ACP 系列風(fēng)冷多級(jí)羅茨泵
ACP 系列多級(jí)羅茨泵是專為壓力范圍從大氣壓力直到 3 · 10-2?hPa 的無油無粒子應(yīng)用而設(shè)計(jì)的。這種風(fēng)冷泵是旋片泵的優(yōu)質(zhì)替代品。
G 版本的泵經(jīng)過特別開發(fā)，是專為傳輸少量腐蝕性氣體而設(shè)計(jì)的。建議 ACP 系列的該版本用于傳輸室、工藝監(jiān)視系統(tǒng)以及離子束應(yīng)用。風(fēng)冷 ACP 系列的?CV 版本的水蒸汽容量可達(dá)每小時(shí) 1,000 克。其專為避免泵體內(nèi)的蒸汽冷凝而設(shè)計(jì)。
以標(biāo)準(zhǔn)版本為基礎(chǔ)，已開發(fā)出多個(gè)特定版本的 ACP 泵以更好地滿足特定要求，例如：
用于工業(yè)應(yīng)用的 ACP 120 G 和 ACG 600 G
ACP 120 以上萬臺(tái)安裝于全世界范圍內(nèi)的半導(dǎo)體流程泵為基礎(chǔ)，在工業(yè)應(yīng)用中也同樣體現(xiàn)出多級(jí)羅茨泵的優(yōu)勢。水冷泵配有吹掃氣體管路，用于輕微腐蝕性工藝或抽空冷凝介質(zhì)。ACP 120 可與羅茨泵組合成不同的泵站。羅茨泵站 ACG 600 可作為裝飾或工具涂層真空解決方案的完全免潤滑抽真空系統(tǒng)的基礎(chǔ)。
緊湊型干式泵：A 100 L 和 A 200 L
緊湊型干式泵 A 100 L 和 A 200 L 是為成本節(jié)約地集成到半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)而開發(fā)的。
A 200 L 經(jīng)過優(yōu)化，可以滿足抽空裝載互鎖所需嚴(yán)苛的頻繁泵送周期。
技術(shù)參數(shù)：
