| 產(chǎn)品參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| OSAKA大阪分子泵 TGkine3300M-R / TGkine3400M-R 品牌 | OSAKA大阪真空 | ||
| 吸氣口法蘭 | VG300 / ISO-B320 | ||
| 排氣口法蘭 | KF40 / KF50 | ||
| 排氣速度N2 (L/s) | 3300/3100 | ||
| 排気速度H2 (L/s) | 2700 | ||
| 大壓縮比N2 (sccm) | 2600 | ||
| 大壓縮比Ar (sccm) | 1900 | ||
| 起動(dòng)時(shí)間 | ≦11min | ||
| 停止時(shí)間 | ≦13min | ||
| 可售賣地 | 北京;天津;河北;山西;內(nèi)蒙古;遼寧;吉林;黑龍江;上海;江蘇;浙江;安徽;福建;江西;山東;河南;湖北;湖南;廣東;廣西;海南;重慶;四川;貴州;云南;西藏;陜西;甘肅;青海;寧夏;新疆 | ||
| 型號(hào) | TGkine3300M-R / TGkine3400M-R | ||
| 型號(hào)※1 | TGkine3300M-R | TGkine3400M-R | |
| 吸氣口法蘭 | VG300 / ISO-B320 | VG350 | |
| 排氣口法蘭※2 | KF40 / KF50 | ||
| 排気速度 | N2?(L/s) | 3300 | |
| N2 (付帶金屬保護(hù)網(wǎng))?(L/s) | 3100 | ||
| H2?(L/s) | 2700 | ||
| zui大壓縮比 | N2 | >1×108 | |
| H2 | 3×103 | ||
| zui大氣體流量※3、※4 | N2?(sccm) | 2600 | |
| Ar?(sccm) | 1900 | ||
| 起動(dòng)時(shí)間 | (min) | ≦11 | |
| 停止時(shí)間 | (min) | ≦13 | |
| 到達(dá)壓力※5 | (Pa） | <2×10-7 | |
| (Torr） | <1.5×10-9 | ||
| zui大排氣口壓力※6 | (Pa) | 110 | |
| (Torr） | 0.82 | ||
| 推薦前級(jí)泵 | (L/min) | ≧2000 | |
| 安裝方向 | 任意 | ||
| 質(zhì)量 | (kg) | 64 / 65 | 67 |
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