圓光柵
RESR
性能高、安裝簡便、讀數(shù)頭品種繁多
刻劃精度達(dá)±0.5角秒，分辨率達(dá)0.004角秒。
集優(yōu)異的性能與卓越的性價(jià)比于一體。
概述
雷尼紹RESR圓光柵具有卓越的性能。RESR刻劃精度達(dá)±0.5角秒、分辨率達(dá)0.004角秒，適用于精度要求極高的測量場合。
特點(diǎn)
RESR圓光柵是一種在柱面上直接刻線的一體式不銹鋼圓光柵。20 μm柵距RESR與RGH20和RGH35讀數(shù)頭兼容，而40 μm柵距RESR與RGH34和RGH40讀數(shù)頭兼容。
刻劃精度達(dá)±0.5角秒，系統(tǒng)重復(fù)性達(dá)0.004角秒
提供多種直徑和刻線數(shù)，可與一系列具有行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的控制器兼容（直徑從52 mm到550 mm，刻線數(shù)從4,096到86 400）
具有專利的錐面安裝方式極大地降低了安裝誤差，簡化了系統(tǒng)集成
10 mm x 10 mm小截面圓光柵
低質(zhì)量與低轉(zhuǎn)動慣量的設(shè)計(jì)增強(qiáng)了動態(tài)性能
一體式不銹鋼圓光柵能夠抵御振動、機(jī)械和熱撞擊，以及熱負(fù)載
為了保證更高的加速度和減速度以及更快的恢復(fù)時(shí)間，還可提供轉(zhuǎn)動量極低的"B"截面圓光柵
參考零位（具有可重復(fù)的起始位置）由單獨(dú)的勵(lì)磁塊提供
20 μm柵距圓光柵與UHV兼容型RGH20F讀數(shù)頭兼容 升級為TONiC? 。
技術(shù)規(guī)格
讀數(shù)頭尺寸 14.8 mm x 36.0 mm x 13.5 mm (RGH20) (H x L x W)
10.5 mm x 36.0 mm x 13.5 mm (RGH20F)
9.5 mm x 15.0 mm x 15.0 mm (RGH35)
輸出（分辨率） RS422： 5 μm、1 μm、0.5 μm、0.2 μm、0.1 μm、50 nm、20 nm（僅限RGH20F）、10 nm（僅限RGH20F）、5 nm（僅限RGH20F）
模擬： 1 Vpp
細(xì)分 RGH20 — 內(nèi)置細(xì)分電路達(dá)50 nm
RGH20F — REF接口（x4至x4 000）（可獲得從x4至x4096的二進(jìn)制細(xì)分系數(shù)）
RGH35 — RGI34接口（x4至x400）
參考零位 勵(lì)磁塊上的螺栓
限位開關(guān) 單限位（RGH40與40 μm柵距RESR具有雙限位）
最高速度 2938轉(zhuǎn)/分（直徑為?52 mm時(shí)為20 μm）
間隙公差 0.8 ±0.08 mm
柵尺類型 20 μm柵距（與RGH20和RGH35兼容）和40 μm柵距（與RGH34和RGH40兼容）RESR圓光柵
真空兼容 是 — RGH20F和20 μm柵距RESR
系統(tǒng)精度 — 20 μm柵距RESR與RGH20
標(biāo)稱外徑 (mm) 系統(tǒng)精度（角秒） 標(biāo)稱外徑 (mm) 系統(tǒng)精度（角秒）
52 5.6 206 1.4
57 5.1 209 1.4
75 3.9 229 1.3
100 2.9 255 1.1
101 2.9 300 1.0
103 2.8 350 0.8
104 2.8 413 0.7
115 2.5 417 0.7
150 1.9 489 0.6
200 1.4 550 0.5
