圓光柵
ATOM
ATOM圓光柵系統(tǒng)配有RCDM鍍鉻玻璃碼盤
RCDM玻璃碼盤可供選擇的最小直徑為?17 mm，刻劃精度可達(dá)±5 μm/m。
概述
ATOM增量式圓光柵將微型化與優(yōu)異的抗污能力、信號(hào)穩(wěn)定性和可靠性完美結(jié)合。這一結(jié)合在市場(chǎng)中是獨(dú)樹(shù)一幟的，代表了微型光柵性能和可靠性的重大進(jìn)步。
ATOM是世界上第一款具有獨(dú)特光學(xué)濾波系統(tǒng)及自動(dòng)增益控制 (AGC) 和自動(dòng)偏置控制 (AOC) 功能的微型光柵（這些系統(tǒng)與功能同樣可在TONiC?緊湊型光柵系列中找到），擁有無(wú)可比擬的測(cè)量性能和一流的測(cè)量精度。
圓光柵配備的RCDM玻璃碼盤的直徑范圍從?17 mm至?108 mm，提供40 μm或20 μm兩種柵距類型。ATOM讀數(shù)頭的工作速度可達(dá)29,000 RPM（在?17 mm碼盤上），分辨率可達(dá)0.004角秒（在?108 mm碼盤上）。
選項(xiàng)
ATOM RCDM增量式圓光柵碼盤
刻線數(shù)：1024至16,384 CPR（10至14位）
碼盤提供20 μm或40 μm兩種柵距類型，直徑范圍從?17 mm至?108 mm
標(biāo)準(zhǔn)刻劃精度可達(dá)±0.5 μm（消除偏心后）
熱膨脹系數(shù)為~8 μm/m/oC
單個(gè)參考零位位于增量碼道內(nèi)側(cè)
低質(zhì)量與低轉(zhuǎn)動(dòng)慣量增強(qiáng)了動(dòng)態(tài)性能
技術(shù)
紅外 (IR) 發(fā)光二極管將光線射到柵尺上，它是一種柵距為20 μm或40 μm的平面反射光柵。柵尺均勻且周期性好，這一點(diǎn)非常重要，但不要求其為優(yōu)質(zhì)的衍射光柵。
參考零位為一道亮線，沿著增量柵尺碼道刻劃，它由讀數(shù)頭內(nèi)部單獨(dú)的分離式光電檢測(cè)器進(jìn)行檢測(cè)。ATOM使用與雷尼紹TONiC光柵相同的光學(xué)原理，但是入射的紅外光束從增量柵尺/參考碼道反射后被分成兩束，這樣做的目的是盡量減少系統(tǒng)占用空間。
內(nèi)部光學(xué)器件采用對(duì)多個(gè)光柵周期進(jìn)行平均的技術(shù)，有效濾除臟污和油脂等引起的非周期性特征。名義方波光柵條紋也被濾去，以在光電探測(cè)器上留下一個(gè)完美的正弦波形，這將產(chǎn)生4個(gè)對(duì)稱相位信號(hào)形式的光電流。這些結(jié)合在一起可免去DC器件，并可輸出具有高光譜純度和低偏置值的正交正弦和余弦信號(hào)，同時(shí)保持高達(dá)500 kHz的帶寬。
通過(guò)主動(dòng)調(diào)節(jié)增量通道增益、偏置量以及對(duì)ATOM讀數(shù)頭內(nèi)的LED光源進(jìn)行控制，可使這些信號(hào)的平衡和電平控制進(jìn)一步得到增強(qiáng)。因此，固有周期誤差（電子細(xì)分誤差，SDE）可以低至柵尺刻劃周期的0.375%。
通過(guò)應(yīng)用合適的電平感應(yīng)和門控電路，ATOM提供的參考零位輸出的雙向重復(fù)性均可達(dá)到可用的系統(tǒng)分辨率。安裝后，相應(yīng)的模擬通道的相位校準(zhǔn)通過(guò)讀數(shù)頭內(nèi)的邏輯自動(dòng)執(zhí)行，并提供全面的系統(tǒng)監(jiān)控和安裝幫助。
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