直線光柵
SiNUM
SiGNUM?直線光柵集高速、非接觸的性能與動(dòng)態(tài)信號(hào)處理和IN-TRAC?自動(dòng)調(diào)相光學(xué)參考零位等先進(jìn)功能于一體
SiGNUM?直線光柵使用極為方便，其優(yōu)異的性能可與價(jià)格昂貴、柵距更小的光柵系統(tǒng)媲美
概述
SiGNUM?直線光柵集高速、非接觸的性能與動(dòng)態(tài)信號(hào)處理和IN-TRAC?自動(dòng)調(diào)相光學(xué)參考零位等先進(jìn)功能于一體； SiGNUM?直線光柵使用極為方便，其優(yōu)異的性能可與價(jià)格昂貴、柵距更小的光柵系統(tǒng)媲美。SiGNUM?還提供圓光柵。
選項(xiàng)
RELM ZeroMet?柵尺的熱膨脹系數(shù)為~0.6 μm/m/°C，有多種長(zhǎng)度可供選擇。堅(jiān)固的因鋼柵尺比玻璃柵尺具有更小的截面尺寸，而且操作和安裝更為簡(jiǎn)便，沒(méi)有破損的風(fēng)險(xiǎn)。RELM精度為±1 μm，分辨率達(dá)5 nm，能夠滿足要求苛刻的精密運(yùn)動(dòng)的需求。
RSLM不銹鋼直線柵尺的性能可與精細(xì)柵距的玻璃柵尺媲美，有多種長(zhǎng)度可供選擇，最長(zhǎng)可達(dá)5 m。在5 m長(zhǎng)度內(nèi)的總體精度（包括斜率誤差和線性誤差）優(yōu)于±4 μm — 達(dá)到業(yè)內(nèi)最高水平！ RSLM可以方便地成卷存放，一旦展開(kāi)，就可以像直線柵尺一樣使用。此外，該柵尺還具有超低的周期誤差 (±30 nm)，是測(cè)量精度要求嚴(yán)格的長(zhǎng)行程應(yīng)用場(chǎng)合的理想解決方案。
技術(shù)
紅外發(fā)光二極管將光線射到柵尺上，它是一種柵距為20 μm的平面反射金屬光柵。柵尺均勻且周期性好，這一點(diǎn)非常重要，但不要求其為優(yōu)質(zhì)的衍射光柵。與RG2和RG4讀數(shù)頭一樣，SiGNUM讀數(shù)頭光學(xué)器件采用對(duì)多個(gè)光柵周期進(jìn)行平均的技術(shù)，有效濾除臟污等引起的非周期性特征。名義方波光柵條紋也被濾去，以在探測(cè)器上留下一個(gè)完美的正弦波形。這里使用的是一個(gè)多條紋結(jié)構(gòu)，它非常細(xì)，能夠產(chǎn)生4個(gè)對(duì)稱相位信號(hào)形式的光電流。這些結(jié)合在一起可免去DC器件，并可產(chǎn)生具有高光譜純度和低偏置值的正弦和余弦輸出，同時(shí)保持500 kHz以上的帶寬。
通過(guò)主動(dòng)調(diào)節(jié)各個(gè)通道增益、偏置量以及對(duì)SiGNUM?讀數(shù)頭內(nèi)的LED光源進(jìn)行控制，可使這些信號(hào)的平衡和電平控制進(jìn)一步得到增強(qiáng)。因此，固有周期誤差（電子細(xì)分誤差，SDE）僅為±30 nm，相當(dāng)于0.15%的柵尺刻劃周期。在SiGNUM? Si接口內(nèi)，通過(guò)CORDIC算法進(jìn)行細(xì)分。
IN-TRAC?參考零位直接刻劃在增量柵尺上。此特征被光學(xué)濾波系統(tǒng)濾除，但被讀數(shù)頭內(nèi)一個(gè)分離的光電檢測(cè)器檢測(cè)到。通過(guò)光學(xué)感應(yīng)和門控電路產(chǎn)生參考零位信號(hào)，在所有的速度下都具有雙向可重復(fù)性。安裝后，相應(yīng)的模擬通道的相位校準(zhǔn)通過(guò)接口內(nèi)的邏輯自動(dòng)執(zhí)行，并提供全面的系統(tǒng)監(jiān)控和安裝幫助。
SiGNUM? RELM直線光柵
RELM高精度柵尺集高速、非接觸的性能與動(dòng)態(tài)信號(hào)處理和IN-TRAC?光學(xué)零位等先進(jìn)功能于一體。RELM極為堅(jiān)固，其優(yōu)異的性能可與價(jià)格昂貴、柵距更小的光柵系統(tǒng)媲美。在長(zhǎng)度達(dá)1.13 m時(shí)RELM精度為±1 μm，熱膨脹系數(shù)低，分辨率達(dá)5 nm，能夠滿足要求苛刻的精密運(yùn)動(dòng)的需求。
系統(tǒng)包括：
RELM 20 μm柵距ZeroMet柵尺
SiGNUM? SR讀數(shù)頭
SiGNUM? Si接口
RELM 20 μm柵距ZeroMet柵尺
20 μm柵距的RELM柵尺由ZeroMet制造；它是一種低膨脹的鎳/鐵合金。堅(jiān)固的ZeroMet柵尺比玻璃柵尺具有更小的截面尺寸，但操作和安裝更為簡(jiǎn)便，沒(méi)有破損的風(fēng)險(xiǎn)。
可提供長(zhǎng)達(dá)1 130 mm的規(guī)定長(zhǎng)度，也可根據(jù)要求提供定制長(zhǎng)度
精度可達(dá)±1 μm，根據(jù)國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)
熱膨脹系數(shù)低： ZeroMet，~0.6 μm/m/°C（0°C至30°C）
IN-TRAC?自動(dòng)調(diào)相光學(xué)零位即使在最高速度（12.5 m/s）下仍具有雙向、可重復(fù)功能
中點(diǎn) (RELM) 和端點(diǎn) (RELE) 光學(xué)零位位置可作為標(biāo)準(zhǔn)配置提供
雙光學(xué)限位可在柵尺上指示行程終點(diǎn)
易于安裝，可以使用基準(zhǔn)夾具和夾子或背面自帶的不干膠直接安裝到基體
SR讀數(shù)頭和Si接口盒的特性與優(yōu)點(diǎn)
周期誤差為±30 nm，具有"精細(xì)柵距"光柵性能
工作速度可達(dá)12.5 m/s，工作溫度可達(dá)85 °C
在大多數(shù)開(kāi)放式光柵都不適用的條件下，仍具有優(yōu)異的信號(hào)穩(wěn)定性。
Si接口盒提供具有工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的模擬和數(shù)字輸出
用戶可選的增益控制 (AGC) 保持1 Vpp的模擬信號(hào)幅度。
讀數(shù)頭和接口盒上的內(nèi)置LED指示燈能夠?qū)崿F(xiàn)最佳安裝和系統(tǒng)診斷
高柔性、UL認(rèn)證的電纜 — 在讀數(shù)頭和接口盒之間長(zhǎng)達(dá)10 m
提供可選的IP68內(nèi)置接頭
技術(shù)規(guī)格
讀數(shù)頭尺寸 14.8 mm x 36.0 mm x 16.5 mm (H x L x W)
輸出（分辨率） RS422： 5 μm、1 μm、0.5 μm、0.2 μm、0.1 μm、50 nm、20 nm、10 nm、5nm。
模擬： 1 Vpp
細(xì)分 Si接口（x4至x4000）
參考零位 IN-TRAC?自動(dòng)調(diào)相光學(xué)參考零位
限位開(kāi)關(guān) 用戶定位的雙光學(xué)限位
最高速度 12.5 m/s
間隙公差 0.8 ±0.08 mm
柵尺類型 20 μm RELM ZeroMet柵尺
真空兼容 否
SiGNUM? RSLM直線光柵
全新RSLM不銹鋼因鋼柵尺的性能可與精細(xì)柵距的玻璃柵尺媲美，在5 m長(zhǎng)度內(nèi)的總體精度（包括斜率誤差和線性誤差）優(yōu)于±4 μm — 達(dá)到業(yè)內(nèi)最高水平！SiGNUM? RSLM的周期誤差為±30 nm，配有獨(dú)特的濾波系統(tǒng)，分辨率為5 nm，安裝簡(jiǎn)單，具有20 μm柵距光柵的所有優(yōu)點(diǎn)以及精細(xì)柵距系統(tǒng)的性能。如需10 m以上的長(zhǎng)度，請(qǐng)聯(lián)系當(dāng)?shù)氐睦啄峤B業(yè)務(wù)代表。
RSLM 20 μm柵距不銹鋼柵尺
RSLM 20 μm柵距不銹鋼柵尺是測(cè)量精度要求嚴(yán)格的長(zhǎng)行程應(yīng)用場(chǎng)合的理想解決方案。
堅(jiān)固的柵尺有多種規(guī)定長(zhǎng)度可供選擇，最長(zhǎng)可達(dá)10 m，請(qǐng)聯(lián)系當(dāng)?shù)氐睦啄峤B業(yè)務(wù)代表
在5 m長(zhǎng)度內(nèi)總體精度優(yōu)于±4 μm
熱膨脹：10.8 μm/m/°C
RSLM可以方便地成卷存放，一旦展開(kāi)，就可以像直線柵尺一樣使用
使用背面自帶的特殊配方不干膠或機(jī)械夾具安裝
IN-TRAC?自動(dòng)調(diào)相光學(xué)零位即使在系統(tǒng)最高速度（12.5 m/s）下仍具有雙向、可重復(fù)功能
多個(gè)IN-TRAC?光學(xué)零位：柵尺中點(diǎn) (RSLM)、柵尺端點(diǎn) (RSLE)、用于短行程旋轉(zhuǎn)的距離編碼 (RSLD) 或供用戶選擇的固定間距 (RSLC)
雙光學(xué)限位可在柵尺上指示行程終點(diǎn)
技術(shù)規(guī)格
讀數(shù)頭尺寸 14.8 mm x 36.0 mm x 16.5 mm (H x L x W)
輸出（分辨率） RS422：5 μm、1 μm、0.5 μm、0.2 μm、0.1 μm、50 nm、20 nm、10 nm、5 nm。
模擬：1 Vpp
細(xì)分 Si接口盒（x4至x4 000）
參考零位 IN-TRAC?自動(dòng)調(diào)相光學(xué)零位
限位開(kāi)關(guān) 用戶定位的雙光學(xué)限位
最高速度 12.5 m/s
間隙公差 0.8 ±0.08 mm
柵尺類型 RSLM 20 μm柵距不銹鋼柵尺
真空兼容 否
更多相關(guān)詳細(xì)資料，歡迎致電：010-84450370/13520118840，QQ：649909728，聯(lián)系人：徐濤
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