超高真空光柵
RGH25F UHV
RGH25F UHV直線光柵讀數(shù)頭與雷尼紹的RGS20-S鋼帶柵尺兼容
在超高真空條件下提供保真度極高的直接位置反饋
該產(chǎn)品廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體和科學(xué)設(shè)備上，其良好的性能在多年實(shí)際應(yīng)用中已得到驗(yàn)證
概述
RGH25F UHV直線光柵讀數(shù)頭與雷尼紹的RGS20-S鋼帶柵尺兼容，在超高真空條件下提供保真度極高的直接位置反饋。RGH25F UHV廣泛應(yīng)用在對性能和可靠性要求極高的半導(dǎo)體和科學(xué)設(shè)備上，經(jīng)過多年現(xiàn)場使用已經(jīng)證實(shí)了其良好的性能。
UHV系列的用途
提高產(chǎn)量和收益
消除速度/分辨率局限
提高運(yùn)動控制性能
降低損壞風(fēng)險
RESOLUTE UHV是真正的絕對式光柵，開啟后可立即采集絕對位置
移動軸時不會有碰撞風(fēng)險 RESOLUTE UHV任何時候都能保持全面控制，即使斷電后也是如此 增強(qiáng)可靠性
RESOLUTE UHV具有內(nèi)置的位置檢查算法
UHV讀數(shù)頭的特性與優(yōu)點(diǎn)
由真空兼容材料和粘合劑制成，出氣率低，進(jìn)行殘余氣體分析 (RGA) 經(jīng)驗(yàn)證不會污染真空環(huán)境
120 °C烘焙溫度
非接觸開放式光學(xué)系統(tǒng)提供高速、可靠的操作，摩擦和磨損均為零
具備工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的模擬和數(shù)字輸出，分辨率達(dá)1 nm
電耗低、發(fā)熱小
排氣密封
自適應(yīng)電路可確保高精度、長期工作的可靠性和低周期誤差（RGH25F UHV和RGH20F UHV為±50 nm，TONiC UHV為±30 nm）
帶有真空兼容涂層線路的RFI屏蔽線纜
TONiC UHV光柵具有光學(xué)參考零位
與REF接口兼容
為了進(jìn)一步提高性能和長期可靠性，由符合RoHS標(biāo)準(zhǔn)的REF接口取代了RGB和RGF系列，它具有動態(tài)信號調(diào)節(jié)功能和5 nm的分辨率。
RGH25F UHV讀數(shù)頭由精選的低除氣速率材料和粘合劑在指定的潔凈條件下制造而成。該產(chǎn)品封裝在一個真空兼容袋中以維持清潔。
真空兼容型鋼帶柵尺
RGS20-S鋼帶柵尺提供具有高重復(fù)性的測量標(biāo)準(zhǔn)。該標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體和科學(xué)產(chǎn)業(yè)中使用的最常見的工程材料，包括ZeroMet?、Zerodur®、不銹鋼和鋁。當(dāng)使用推薦的環(huán)氧樹脂將柵尺的末端鎖入基體時，柵尺適應(yīng)基體的熱膨脹系數(shù)，從而表現(xiàn)出如同基體本身被刻劃柵線的特性。
殘留氣體分析 (RGA) 測試結(jié)果
通過獨(dú)立殘留氣體分析 (RGA) 測試證明整個系統(tǒng)適用于潔凈真空條件。它還適用于超真空中使用的120攝氏度的烘焙。典型應(yīng)用包括晶片處理、晶片檢測和科研。
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