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 基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器
此款高性能射頻濾波器是村田制作所基于CMOS工藝的制作出來的一款新型產(chǎn)品。下面小編帶領(lǐng)大家來看看村田制作所得這款產(chǎn)品。
這種用膜結(jié)構(gòu)的方法產(chǎn)生的BAW器件需要淀積的層數(shù)是最少的。這種方法的缺點(diǎn)是由于頂部有易碎的膜，從而造成晶片的處理很困難，此外還有其它一些魯棒性的問題。
為實(shí)現(xiàn)將聲波從襯底隔離開，還可以用聲波鏡來實(shí)現(xiàn)。用若干聲阻抗高和低的層交替堆疊，且這些層的厚度都等于主諧振波長的1/4，這樣就構(gòu)建了一個有效的聲波鏡。這種制鏡機(jī)理在光學(xué)中很普遍。在每個高阻抗層和低阻抗層之間的界面上，大部分的聲波被反射，又由于這些層的厚度是/4，因而反射波會按合適的相位疊加。這種類型的BAW被稱為固態(tài)裝配諧振器（SMR）。
就魯棒性而言，SMR比膜結(jié)構(gòu)的BAW要好很多。在劃片和裝配所需的各種標(biāo)準(zhǔn)工序中，沒有機(jī)械損壞的風(fēng)險(xiǎn)。壓電層和電極層上受到的層壓力也不會造成問題。對需要有很大功率承受能力的BAW而言，存在一條直接穿過鏡子的垂直傳熱通路是很有利的，這樣可以明顯降低對周圍環(huán)境的熱阻抗。SMR類的FBAR在用于IC集成時有很明顯的優(yōu)點(diǎn)，因?yàn)樗梢员磺度氲浇惶娴慕饘?氧化物堆中，而這種金屬-氧化物堆一般先進(jìn)的IC工藝都可以提供。事實(shí)上，在IC工藝上集成SMR，總的工序和掩膜層數(shù)都得到節(jié)省。www.mlcc1.com/mlcc