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“經(jīng)常有人戴智能手環(huán)坐飛機國際旅行,在飛機上不可能有很大的運動量,但你一下飛機手環(huán)就顯示你走了數(shù)千步。這個與實際情況出入很大的計步結(jié)果是如何出來的?這就是由于傳感器精度問題造成的。”對于MEMS傳感器的精度問題,Neil給出了一個常見的計步嚴重偏差的例子,“這是加速度計的采樣頻率不夠,導(dǎo)致將飛機高頻振動計算成規(guī)律的低頻運動,也可能是傳感器對高頻濾波處理不當(dāng),導(dǎo)致傳感器不能實現(xiàn)對高頻信號干擾濾除”。
第三個重要的性能指標(biāo)是尺寸。“這個很容易理解了,比如說頭盔上佩戴的和裝在護欄上的,這也是國內(nèi)的一個項目,裝在護欄上,如果車輛碰撞了都知道哪一塊出現(xiàn)碰撞,這都需要尺寸非常小,所以對尺寸上也是有很高的要求。”Neil指出。事實上,MEMS近年來在很多創(chuàng)新應(yīng)用中,對產(chǎn)品尺寸都有非??量痰囊?,例如珠寶等奢侈品的安全跟蹤、便攜導(dǎo)航功能需要的陀螺儀、磁力計MEMS,甚至我們的信用卡里面都有機會用到MEMS,這些都要求MEMS夠小、夠薄。
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