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產(chǎn)品簡介

BOE腐蝕機

產(chǎn)品價格：￥

上架日期：2020-08-27 09:17:13

產(chǎn)地：江蘇

發(fā)貨地：江蘇南通市

供應(yīng)數(shù)量：不限

最少起訂：1套

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詳細(xì)說明

本發(fā)明公開一種BOE腐蝕的工藝方法，在光刻工藝的刻蝕過程中，通過將硅片在酸液中上下運動后減少腐蝕過程中依附在硅片上的氣泡量，然后把片架整體提出液面1S，通過壓力的快速變化，使依附在硅片上的氣泡易于破碎，最后再將硅片放入酸液中繼續(xù)上下運動，循環(huán)腐蝕12min，從而實現(xiàn)對硅片的腐蝕，同時，本發(fā)明中是通過BOE腐蝕槽來對硅片進(jìn)行腐蝕，通過使腐蝕液循環(huán)流動，保持在腐蝕過程中內(nèi)槽內(nèi)各位置腐蝕液的濃度保持一致，同時，流動的腐蝕液能夠?qū)⒁栏皆诠杵系臍馀萃耆虼蟛糠秩コ?，提升硅片腐蝕的一致性，降低腐蝕過程中生成的氣泡對腐蝕效果的影響。

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江蘇英思特半導(dǎo)體科技有限公司

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