Model470是最先進(jìn)的溶解臭氧測(cè)量分析儀，為半導(dǎo)體濕法處理和許多其他工業(yè)過程設(shè)計(jì)。它能夠提供去離子水或硫酸中濃度高達(dá)150mg/L的溶解臭氧測(cè)量。470已完成“預(yù)備清潔”，能夠滿足高純度半導(dǎo)體過程的需求，并且可簡(jiǎn)單的直接拼接進(jìn)任何濕法處理的環(huán)流回路中，最高支持150 SLPM的流量。
470型傳感器使用雙路取樣傳感技術(shù)，達(dá)到了無與倫比的性能，且擺脫了對(duì)參比液體測(cè)量的需求。 通常的安裝僅僅包括470傳感器和特氟龍7包裹的內(nèi)部連接電纜。470傳感器能夠通過模擬或數(shù)字信號(hào)向濕法處理過程控制臺(tái)遠(yuǎn)程報(bào)告測(cè)量的濃度。
| 產(chǎn)品型號(hào) | Model470 | 生產(chǎn)廠商 | 美國(guó)進(jìn)口 |
|---|---|---|---|
| 測(cè)量原理 | 紫外吸收法，雙路取樣傳感技術(shù) | 紫外光源 | 低壓汞燈 |
| 測(cè)量單位 |
ppmw, mg/L |
量 程 |
0-150 mg/L (150 ppmw) |
| 精 度 |
0.5mg/L 或 1%讀數(shù) (以較大值為準(zhǔn)） |
水流量 |
高達(dá)150 SLPM |
| 采樣端口 |
1”, 3/4”, 3/8” Flaretek® 連接 |
最大壓強(qiáng) |
55 PSI |
| 接觸材料 |
特氟龍®, 藍(lán)寶石, 與半導(dǎo)體流程相容 |
外殼 |
聚四氟乙烯特氟隆® |
| 尺寸 |
垂直固定(144 x 171 x 82 mm) |
電纜 |
特氟龍®外層 |
| 電源 |
+15 VDC |
認(rèn)證 |
CE 認(rèn)證 |
| 模擬輸出 |
4-20mA或0-5VDC，出廠時(shí)選擇 |
數(shù)字輸出 |
I/O RS-232 或 RS485，出廠時(shí)選擇 |
|
遠(yuǎn)程校零 |
通過DB15進(jìn)行遠(yuǎn)程零點(diǎn)校準(zhǔn) |
維護(hù) | 紫外燈每24個(gè)月替換一次，無其他預(yù)定維護(hù) |
