AMC對(duì)當(dāng)前的IC生產(chǎn)其潛在的污染比粒子污染要廣泛多,粒子污染控制只要確定粒徑及個(gè)數(shù),但對(duì)AMC控制而言,除了受芯片線寬的縮小而變化外,并受工藝、工藝設(shè)備、工藝材料及園片傳送系統(tǒng)等的影響,更有甚者用于某一工序的各種工藝材料(化學(xué)品、特種氣體等)在很多情況下其微量的分子對(duì)下一工序往往可能是污染物,而園片加工工序當(dāng)前已多于3多個(gè)獨(dú)立工序,對(duì)AMC控制指標(biāo)的確定更是復(fù)雜。IC生產(chǎn)對(duì)AMC的控制,對(duì)不同的產(chǎn)品、不同的工藝、不同的工序及不同的工藝材料會(huì)有不同的要求,對(duì)各種污染物質(zhì)的要求當(dāng)前總的說(shuō)法是控制在亞pptm~1pptm間。
銷售直徑2.0米長(zhǎng)20米烘干機(jī)實(shí)地測(cè)量
RO(ReverseOsmosis)反滲透技術(shù)是利用壓力差為動(dòng)力的膜分離過(guò)濾技術(shù),其孔徑小至納米級(jí)(1納米=1-9米),在一定的壓力下,H2O分子可以通過(guò)RO膜,而原水中的無(wú)機(jī)鹽、重金屬離子、有機(jī)物、膠體、細(xì)菌、病毒等雜質(zhì)無(wú)法透過(guò)RO膜,從而使可以透過(guò)的純水和無(wú)法透過(guò)的濃縮水嚴(yán)格區(qū)分開來(lái)。反滲膜的工作原理圖如下:我們從自來(lái)水(或其它原水)制取純水,從進(jìn)水經(jīng)過(guò)反滲透膜到出水,進(jìn)水的含鹽量(離子濃度)遠(yuǎn)高于出水,可把進(jìn)水比作濃水,出水比作純水,二者通過(guò)反滲透膜隔開,如上圖所示。