廣州潽拓光電科技有限公司主要從事機(jī)電自動(dòng)化,光電存儲(chǔ)媒體,半導(dǎo)體,醫(yī)療,太陽(yáng)能電池板等真空鍍膜設(shè)備維修,銷售,設(shè)計(jì),開(kāi)發(fā)及系統(tǒng)工程,軟件開(kāi)發(fā),承接等,
進(jìn)口Agilent TwisTorr 304 FS渦輪分子泵性能指標(biāo):
N2:250 L/s
He:255 L/s
H2:220 L/s
Ar:250 L/s
泵 ISO 100:
泵 CFF 6 英寸:
泵 ISO 160:
泵 CFF 8 英寸:
抽速:
使用 CFF 6 英寸或 ISO 100:使用 CFF 8 英寸或 ISO 160:
N2:250 L/s
He:255 L/s
H2:220 L/s
Ar:250 L/s
全轉(zhuǎn)速zui大氣載(使用推薦前級(jí)泵)
環(huán)境溫度 (25 °C)
水溫 (25 °C,50 L/h)
N2:170 sccm
N2:170 sccm
Ar:110 sccm
Ar:110 sccm
壓縮比與前級(jí)壓力關(guān)系:
N2:> 1 × 1011
N2:> 10 mbar
He:> 1 × 108
H2:> 10 mbar
H2:1.5 × 106
H2:> 4 mbar
Ar:> 1 × 1011
Ar:> 10 mbar
極限真空*(使用推薦的前級(jí)泵) (5 m3/h)
< 1 × 10–10 mbar (< 1 × 10–10 Torr)
抽氣口法蘭
8 英寸外徑 CFF
2.6 英寸外徑 CFF
ISO 160
ISO 100
前級(jí)管道法蘭
KF 16 NW(KF25 — 可選)
轉(zhuǎn)速
60000 rpm(1010 Hz 驅(qū)動(dòng)頻率)
啟動(dòng)時(shí)間
小于 3 分鐘
推薦的前級(jí)泵
機(jī)械:Agilent DS 102
干泵:Agilent SH 110
工作位置
任意
操作環(huán)境溫度
+5 °C 至 +35 °C
空氣相對(duì)濕度
0%–90%(無(wú)冷凝)
烘烤溫度
抽氣口法蘭zui高溫度 120 °C(CFF 法蘭)抽氣口法蘭zui高溫度 80 °C(ISO 法蘭)
潤(rùn)滑油
yognjiu性潤(rùn)滑
冷卻要求
風(fēng)扇冷卻(環(huán)境溫度 5–35 C)
水冷(如果環(huán)境高于 35 ℃,需強(qiáng)制水冷)
冷卻水
zui小流速:
50 L/h (0.89 GPM)
溫度:
+15 ℃ 至 +30 ℃
壓力:
3 至 5 bar(45 至 75 psi)
噪聲聲壓級(jí)
在 1 米處,< 50 dB(A)
儲(chǔ)存溫度
-40 °C 至 +70 °C
zui高海拔
3000 m
重量 kg(磅):
5.5 (12.3)
7.5 kg (16.5)
5.7 kg (12.6)
9.7 kg (20.9)