日本shimadzu 島津TMP-303LMC磁懸浮渦輪分子泵進氣法蘭口VG100/ICF152/ISO100B/ISO100C，出氣法蘭口KF25，抽速可達到320 L/s，轉(zhuǎn)速為45000 rpm，極限壓力1 x 10-10 Torr(1.3 x 10-10 mbar)，島津TMP-303LMC磁懸浮分子泵-對應(yīng)的控制器：Shimadzu EI-D303M
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